(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201711470800.X
(22)申请日 2017.12.28
(71)申请人 武汉华星光电半导体显示技术有限
公司
地址 430000 湖北省武汉市东湖新技术开
发区高新大道666号光谷生物创新园
C5栋305室
(72)发明人 李朝
(74)专利代理机构 深圳市威世博知识产权代理
事务所(普通合伙) 44280
代理人 袁江龙
(51)Int.Cl.
G09F 9/30(2006.01)
H01L 51/00(2006.01)
H01L 51/56(2006.01)
H01L 21/78(2006.01)
(54)发明名称
(57)摘要
本发明公开了一种柔性面板的制备方法及
及封装层以形成柔性面板；通过激光剥离的方式
使玻璃基板与柔性材料层分离，得到柔性面板。
通过上述方法，可以将玻璃基板与柔性材料完全
剥离，降低柔性材料剥离的不良率，同时提高柔
性显示器的光学特性。权利要求书1页 说明书4页 附图4页CN 108230904 A 2018.06.29
C N 108230904
A
1.一种柔性面板的制备方法，其特征在于，所述方法包括：
在玻璃基板上形成保护层；
在所述保护层上形成柔性材料层；
在所述柔性材料层上依次形成薄膜晶体管、有机功能层以及封装层以形成所述柔性面板；
通过激光剥离的方式使所述玻璃基板与所述柔性材料层分离，得到所述柔性面板。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在玻璃基板上形成保护层，包括：通过黄光工艺在玻璃基板上形成有机光阻膜。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在玻璃基板上形成保护层，包括：通过黄光工艺在玻璃基板上形成有机光阻膜；
在所述有机光阻膜上进行非金属镀膜，以形成非金属膜。
4.根据权利要求2或3所述的方法，所述通过激光剥离的方式使所述玻璃基板与所述柔性材料层分离，包括：
通过激光剥离的方式使所述玻璃基板与所述有机光阻膜分离；
通过激光剥离的方式使所述有机光阻膜与所述柔性材料层分离。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述保护层上形成柔性材料层具体包括：
在所述保护层上进行聚酰亚胺涂布、干燥及固化以形成柔性材料层。
6.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述有机光阻膜的厚度为1.5－2um。
7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述非金属膜的厚度为1um。
8.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述非金属膜为氮化硅和/或氧化硅。
9.一种柔性显示装置，其特征在于，所述显示装置包括权利要求1至8中任意一项方法所制备的柔性面板。
10.根据权利要求9所述的柔性显示装置，其特征在于，所述柔性显示装置为柔性主动矩阵有机发光二极体AMOLED或柔性显示器。
权 利 要 求 书1/1页CN 108230904 A
一种柔性面板的制备方法及柔性显示装置
技术领域
[0001]本发明涉及柔性显示技术领域，特别是涉及一种柔性面板的制备方法及柔性显示装置。
背景技术
[0002]随着显示技术的发展，柔性显示装置被广泛应用。其中，柔性显示装置的阵列基板必须是柔性基底，由于柔性基底容易发生变形，因此在显示基板的制备过程中，需要在玻璃基板上生成柔性材料层，然后再依次在柔性材料层上形成各种显示结构，如：薄膜晶体管、数据线、栅线、电容、阳/阴极及有机发光层等，然后再将玻璃基板与柔性材料层进行剥离，以形成独立的柔性显示基板。
[0003]本申请的发明人在长期的研发中发现，显示基板的制备过程中，玻璃基板的清洗并不能完全清洗掉玻璃基板上的颗粒物质，从而引起玻璃基板与柔性材料层不能完全剥离，影响柔性材料层剥离的成功率，同时也影响柔性显示装置的光学特征。
发明内容
[0004]本发明主要解决的技术问题是提供一种柔性面板的制备方法及柔性显示装置，可以将玻璃基板与柔性材料完全剥离，降低柔性材料剥离的不良率，同时提高柔性显示器的光学特性。
[0005]为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种柔性面板的制备方法，该方法包括：在玻璃基板上形成保护层；在保护层上形成柔性材料层；在柔性材料层上依次形成薄膜晶体管、有机功能层以及封装层以形成柔性面板；
[0006]通过激光剥离的方式使玻璃基板与柔性材料层分离，得到柔性面板。
[0007]为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：提供一种柔性显示装置，该显示装置包括上述任意一项方法所制备的柔性面板。
[0008]本发明的有益效果是：通过在玻璃基板与柔性材料层之间加入一层保护层，使得玻璃基板上的颗粒物质不会直接影响到柔性材料层，进而在剥离玻璃基板与柔性材料层时，得到完整的柔性面板，降低柔性材料剥离的不良率，同时提高柔性显示器的光学特性。
附图说明
[0009]图1是本发明基于柔性面板制备方法的第一实施例的流程示意图；
[0010]图2是本发明基于柔性面板制备方法的第一实施方式的结构示意图；
[0011]图3是本发明基于柔性面板制备方法的第二实施例的流程示意图；
[0012]图4是本发明基于柔性面板制备方法的第二实施方式的结构示意图；
[0013]图5是本发明基于柔性面板制备方法的第三实施例的流程示意图；
[0014]图6是本发明基于柔性面板制备方法的第三实施方式的结构示意图；
[0015]图7是本发明柔性显示装置一实施例的结构示意图。
具体实施方式
[0016]下面结合附图和实施方式对本发明进行详细说明。
[0017]请参阅图1，图1是本发明基于柔性面板制备方法的第一实施例的流程示意图。参考图2，该柔性面板制备方法包括：
[0018]S10：在玻璃基板上形成保护层。
[0019]在玻璃基板20上形成保护层21。其中，柔性显示装置的面板必须是柔性基底，由于柔性基底容易发生变形，因此在显示基板的制备过程中，需要在玻璃基板上生成柔性材料层，然后再依次在柔性材料层上形成各种显示结构。因此，在玻璃基板进行初始化清洗后，可以进行一层黄光有机光阻涂布，例如：
DL－1001－C，或进行其他涂布以在玻璃基板上形成临时缓冲层，以保护柔性基底不受玻璃基板的影响。
[0020]S11：在保护层上形成柔性材料层。
[0021]在保护层21上形成柔性材料层22。具体的，在保护层21上进行聚酰亚胺(Polyimide)的涂布、干燥及固化以形成柔性材料层22，即柔性基底。而柔性材料层上的保护层可以有效的阻挡玻璃基板上大颗粒的影响，降低柔性基底凸起和凹陷问题，进而提升柔性基底涂布的成功率。其中，聚酰亚胺是综合性能最佳的有机高分子材料之一，使得保护层上的柔性材料具有良好的光学，耐化以及阻水阻氧等性能。
[0022]S12：在柔性材料层上依次形成薄膜晶体管、有机功能层以及封装层以形成柔性面板。
[0023]在柔性材料层22上依次形成薄膜晶体管23、有机功能层以及封装层(图中未示)以形成柔性面板。具体的，在柔性材料层上依次形成薄膜晶体管、数据线、栅线、电容、阳极、阴极、有机发光层、像素界定层等(图中未示)，并进行蒸镀、封装等一系列操作。
[0024]S13：通过激光剥离的方式使玻璃基板与柔性材料层分离，得到柔性面板。[0025]通过激光剥离的方式使玻璃基板20与柔性材料层21分离。具体的，利用LLO激光剥离技术将玻璃基板20及保护层21与柔性材料层22之间进行剥离。在本实施例中，可以先利用LLO激光剥离技术将玻璃基板与保护层之间进行
剥离，然后，再次利用LLO激光剥离技术将保护层与柔性材料层之间进行剥离，最终达到玻璃基板与柔性材料层分离的效果。[0026]通过上述方法，在玻璃基板与柔性材料层之间加入一层保护层，使得玻璃基板上的颗粒物质不会直接影响到柔性材料层，进而在剥离玻璃基板与柔性材料层时，得到完整的柔性面板，降低柔性材料剥离的不良率，同时提高柔性显示器的光学特性。
[0027]请参阅图3，图3是本发明基于柔性面板制备方法的第二实施例的流程示意图。参考图4，柔性面板制备方法包括：
[0028]S30：通过黄光工艺在玻璃基板上形成有机光阻膜。
[0029]通过黄光工艺在玻璃基板40上形成有机光阻膜41。具体的，使用黄光技术在玻璃基板上涂布一层有机光阻。黄光使用的技术为微影(Lithography)技术，使用的材料为感光材料，这种材料称之为光阻(photo resistance，PR)。微影(Lithography)技术是将光罩(Mask)上的图案先转移至PR上，再以溶剂浸泡将PR受光照射到的部分加以溶解或保留，形成和光罩完全相同或呈互补的光阻图，并进行固化，最终形成一层有机光阻膜。
[0030]可选的，有机光阻膜的厚度为1.5－2um。
[0031]S31：在有机光阻膜上形成柔性材料层。
[0032]在有机光阻膜41上形成柔性材料层42。具体的，在有机光阻膜41上进行聚酰亚胺(Polyimide)的涂布、干燥及固化以形成柔性材料层42，即柔性基底。有机光阻膜可以有效的阻挡玻璃基板上大颗粒的影响，降低柔性基底凸起和凹陷问题，进而提升柔性基底涂布的成功率。
[0033]S32：在柔性材料层上依次形成薄膜晶体管、有机功能层以及封装层以形成柔性面板。
[0034]在柔性材料层42上依次形成薄膜晶体管43、有机功能层以及封装层(图中未示)以形成柔性面板。具体的，在柔性材料层42上依次形成薄膜晶体管43、数据线、栅线、电容、阳极、阴极、有机发光层、像素界定层等(图中未示)，并进行蒸镀、封装等一系列操作。[0035]S33：通过激光剥离的方式使玻璃基板与有机光阻膜分离。
[0036]通过激光剥离的方式使玻璃基板40与有机光阻膜41分离。
[0037]S34：通过激光剥离的方式使有机光阻膜与柔性材料层分离。
[0038]通过激光剥离的方式使有机光阻膜41与柔性材料层42分离。通过两次LLO激光剥离技术得到比较完整的柔性基底，平坦化得到优化，有利柔性显示器光学特性。
[0039]通过上述方法，通过在玻璃层上涂布有机光阻膜层，临时起到缓冲作用，用以保护柔性基底，使得玻璃层上的颗粒物质不会影响到柔性材料层，有效防止柔性基底因颗粒物质引起的凸起和凹陷等不良
问题。
[0040]参考图5，图5是本发明基于柔性面板制备方法的第三实施例的流程示意图。柔性面板制备方法包括：
[0041]S50：通过黄光工艺在玻璃基板上形成有机光阻膜；
[0042]S51：在有机光阻膜上进行非金属镀膜，以形成非金属膜。
[0043]S52：在非金属膜上形成柔性材料层。
[0044]S53：在柔性材料层上依次形成薄膜晶体管、有机功能层以及封装层以形成柔性面板。
[0045]S54：通过激光剥离的方式使玻璃基板与有机光阻膜分离。
[0046]S55：通过激光剥离的方式使有机光阻膜与柔性材料层分离。
[0047]如图6所示，具体的，通过黄光工艺在玻璃基板60上形成有机光阻膜61，在有机光阻膜61上进行非金属镀膜，以形成非金属膜62，在非金属膜62上形成柔性材料层63，在柔性材料层63上依次形成薄膜晶体管64以及、数据线、栅线、电容、阳极、阴极、有机发光层、像素界定层等(图中未示)，并进行蒸
镀、封装等一系列操作。通过激光剥离的方式使玻璃基板60与有机光阻膜61分离，通过激光剥离的方式使有机光阻膜61与柔性材料层63分离，最终达到玻璃基板与柔性材料层分离的效果，并形成柔性面板。
[0048]可选的，非金属膜的厚度为1um。
[0049]可选的，非金属膜为氮化硅和/或氧化硅。
[0050]在本实施例中，通过在有机光阻膜层和柔性材料层之间镀上一层非金属膜层，可以起到阻挡水汽和氧气的目的，同时，有利于有机光阻膜与柔性材料层的第二次LLO激光剥离。其中，可以使用等离子体增强化学的气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)，借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离
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