一种三跑道全刻蚀平面靶

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 114293163 A (43)申请公布日 2022.04.08

(21)申请号 CN202111634865.X

(22)申请日 2021.12.29

(71)申请人丹阳市宝来利真空机电有限公司

地址 212300 江苏省镇江市丹阳市开发区九曲路巷工业园

(72)发明人谢学东

(74)专利代理机构 32439 盐城市苏知桥知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人田炜娜

(51)Int.CI

C23C14/35(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种三跑道全刻蚀平面靶

(57)摘要

本发明公开了一种三跑道全刻蚀平面靶，本发明由真空底板和靶底座等组成，所述三跑道全刻蚀平面靶还包括：靶旋转机构，设在真空底板上，用于控制平面靶旋转，所述靶旋转机构包括贯通固定在真空底板上的真空密封旋转装置，所述真空密封旋转装置包括外壁固定贯通在真空底板上的轴套，轴套内部中心转动连接中心转轴，中心转轴远离靶底座的一端延出到轴套外部设置驱动模块，用于驱动中心转轴转动；以及组靶机构，设在靶底座上。通过本发明设计的一种三跑道全刻蚀平面靶，能够真正实现了靶面全刻蚀，沉积速率高，靶材利用率可达80％，运行费用低，减少换靶频次，同时均匀度也大幅提高，并且散热高效，有效延长平面靶的使用时间，为平面靶应用技术拓展更广阔的领域。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2022-04-08	公开	发明专利申请公布
2022-04-26	实质审查的生效IPC(主分类):C23C14/35专利申请号:202111634865X申请日:20211229	实质审查的生效