(19)中华人民共和国国家知识产权局
| (12)发明专利说明书 | |
| (10)申请公布号 CN 103969036 A (43)申请公布日 2014.08.06 |
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(21)申请号 CN201310039484.6
(22)申请日 2013.01.31
(71)申请人 北京七星华创电子股份有限公司
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
(72)发明人 李文杰 马嘉
(74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 王莹
(51)Int.CI
G01M13/00
(54)发明名称
(57)摘要
本发明公开了阀门控制技术领域中的一种CDS循环系统气动阀检测方法。本发明通过PLC实时检测第一压力传感器、第二压力传感器和泵的数值;当第一压力传感器的数值变化超出第一设定范围、第二压力传感器的数值变化超出第二设定范围或泵的转速超出第三设定范围时,对第一气动阀、第二气动阀、第三气动阀或第四气动阀的状态进行判断;根据判断的发出报警信号。本发明消除了设备在工艺过程中气动阀监测的盲点,增加设备的安全性和稳定性;本发明不需额外增加硬件;PLC能实现自动判定故障可能出现的位置,高效可靠。 | |
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法律状态
权 利 要 求 说 明 书
1.一种CDS循环系统气动阀检测方法,其特征是,该方法包括 以下步骤:
S1:通过PLC实时检测第一压力传感器、第二压力传感器和泵的 数值;
S2:当第一压力传感器的数值变化超出第一设定范围、第二压力 传感器的数值变化超出第二设定范围或泵的转速超出第三设定范围 时,对第一气动阀、第二气动阀、第三气动阀或第四气动阀的状态进 行判断;
S3:根据判断的发出报警信号。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征是,所述步骤S2具体为:
当所述PLC检测到所述第一压力传感器的压力值低于第一设定 范围、第二压力传感器的压力值低于第二设定范围,且所述泵的转速 高于第三设定范围时,则所述第一气动阀或第二气动阀故障;
当所述PLC检测到所述第一压力传感器的压力值不变,第二压力 传感器的压力值低于第二设定范围,所述泵的转速高于第三设定范围 时,则所述第三气动阀故障;
当所述PLC检测到所述第一压力传感器的压力值高于第一设定 范围、第二压力传感器的压力值高于第二设定范围,所述泵的转速低 于第三设定范围时,则所述第四气动阀故障。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征是,所述第一气动阀或第 二气动阀故障的判断条件为:若泵将药液排除管路,则为第二气动阀 故障;否则,为第一气动阀故障。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征是,所述第一设定范围是 P<sub>o</sub>~1.2P<sub>o</sub>,其中,P<sub>o</sub>是CDS循环系统设定的出口压力值。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征是,所述第二设定范围是 2P<sub>o</sub>~2.4P<sub>o</sub>。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征是,所述第三设定范围是 V<sub>t</sub>~1.2V<sub>t</sub>,其中,V<sub>t</sub>是CDS循环系统正常运行时泵的实际速度。
说 明 书
<p>技术领域
本发明涉及阀门控制技术领域,特别涉及一种CDS循环系统气动 阀检测方法。
背景技术
设备在正常工艺时,CDS循环系统内的化学药液在磁力泵高速运 转下源源不断的注入到工艺腔室,其前提条件是管路的畅通无阻和气 动阀的正常动作。然而气动阀属于开环控制,给它一个信号让其动作, 但无法返回实时的状态来判定它是否已经正常的完成命令。
如果需要 实时的监控气动阀的状态,通常的物理方法是在阀上增加一个行程开 关,当气动阀被控制打开或关闭时,阀上的行程柱会伸缩,行程开关 检测到这种动作,能返回气动阀关闭或打开的信号,实现对气动阀的 实时监测。这种方法需要额外的硬件配置,占用安装空间,增加控制 信号的数量,让控制方法变得复杂。