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用于承载Foup的装载端口及设备前端装置[实用新型专利]

专利名称：用于承载Foup的装载端口及设备前端装置专利类型：实用新型专利

发明人：李帅臻，陆丛希

申请号：CN201520431632.3

申请日：20150619

公开号：CN204696087U

公开日：

20151007

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本实用新型提供了一种用于承载Foup的装载端口及设备前端装置，所述用于承载Foup的装载端口包括装载端口主体以及设置于装载端口主体中并与Foup连通的氮气管道，以通过氮气管道将氮气输送至Foup的内部，使得Foup内的晶圆可以沉浸在氮气环境中，从而避免了晶圆表面自然氧化问题，提升了产品良率，同时也使得Foup内晶圆的等待时间可以增加，从而降低了生产线排货难度以及跑货压力。此外，所述装载端口主体包括竖直部分以及与竖直部分连接并用于承载Foup的水平部分，这两部分一体成型且为中空结构，使得氮气管道可以穿过竖直部分和水平部分与Foup连通，不占用生产车间空间，易于实施。

申请人：中芯国际集成电路制造(北京)有限公司

地址：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号

国籍：CN

代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)

本文发布于:2024-09-20 12:29:01，感谢您对本站的认可！

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