芯片的筛片方法、装置及筛片设备

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 114295955 A (43)申请公布日 2022.04.08

(21)申请号 CN202111471252.9

(22)申请日 2021.12.03

(71)申请人山东岱微电子有限公司

地址 250103 山东省济南市历城区彩石街道商业街D区23号

(72)发明人邓冏

(74)专利代理机构 11240 北京康信知识产权代理有限责任公司

代理人张岳峰

(51)Int.CI

G01R31/28(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

芯片的筛片方法、装置及筛片设备

(57)摘要

本申请提供了一种芯片的筛片方法、装置及筛片设备，该方法包括：对多个样品芯片进行板级测试，将在极限温度下正常工作且结温值处于第一预定范围内的样品芯片确定为第一目标芯片，获取多个第一目标芯片的静态电流值和振荡频率值，并确定静态电流阈值和振荡频率阈值；对第一目标芯片进行FT测试，将在预定时间内的结温温升值在第二预定范围内的第一目标芯片确定为第二目标芯片；对第二目标芯片进行板级测试，将在极限温度下正常工作的第二目标芯片确定为第三目标芯片，获取第三目标芯片在FT测试中的结温温升值，得到结温温升阈值；根据静态电流阈值、振荡频率阈值和结温温升阈值对待测试芯片进行筛片，解决了筛片功耗限制低导致芯片良率低的问题。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2022-04-08	公开	发明专利申请公布
2022-04-26	实质审查的生效IPC(主分类):G01R31/28专利申请号:2021114712529申请日:20211203	实质审查的生效