投影物镜倍率误差及畸变的检测装置及方法[发明专利]

专利名称:投影物镜倍率误差及畸变的检测装置及方法专利类型:发明专利
发明人:杨志勇
申请号:CN200810202413.2
申请日:20081107
公开号:CN101387833A
公开日:
20090318
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本发明提供一种投影物镜倍率及畸变的检测装置以及方法,首先制备一具有栅格状透光标记的测量模版,同时提供镀铬面上涂覆正性光刻胶且没有图形的掩模版作为一转印掩模版,利用物像交换曝光的方法以及涂胶显影、刻蚀、套刻测量等相关设备,测量固定在检测装置中的投影物镜倍率误差及畸变;采用本发明的投影物镜倍率及畸变的检测装置以及方法测量投影物镜的倍率误差和畸变,可排除标准栅格模版等传统测量手段带来的系统误差,特别适于包含有测量名义倍率为-1或相近倍率的投影物镜的检测装置系统。
申请人:上海微电子装备有限公司
地址:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号
国籍:CN
代理机构:上海思微知识产权代理事务所

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标签:测量   模版   物镜   倍率
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