专利名称：一种多功能真空实验设备及使用方法专利类型：发明专利 发明人：李志杰，白冰，赵丹娜，李仁俊，包立夫，张洪伟申请号：CN202111502637.7
申请日：20211209
公开号：CN114164401A
公开日：
20220311
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明涉及真空实验装置技术领域，具体涉及一种多功能真空实验设备及使用方法，整个系统能完成电阻加热蒸发法制备纳米粉及镀膜、磁控溅射法进行金属镀膜、进行辉光放电和BET法测粉体比表面积，并可在生成室内部进行红外测温和热电偶测温等。生成室表面设有四个观察窗和多个阀门可进行多种辅助测量；真空系统还连接有一个圆柱状金属检漏台，可进行不同材料真空检漏实验。生成室连接真空机组、水箱和电源系统。本发明设计合理，结构新颖，方便教学和演示，操作简单，功能性强，能同时进行多种与真空有关的测量和检测，是涉及多种先进方法的演示和实验相结合的仪器，便于推广。 申请人：沈阳工业大学
地址：110870 辽宁省沈阳市铁西区经济技术开发区沈辽西路111号
国籍：CN
代理机构：沈阳智龙专利事务所(普通合伙)
代理人：宋铁军
豫公网安备41160202000603
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