发明人:刘翔,包兵兵,钟柯佳,王小磊申请号:CN202010956098.3
申请日:20200911
公开号:CN112271232A
公开日:
20210126
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本申请公开了一种太阳能电池的制造方法,包括:背面酸刻蚀抛光工序,在所述背面酸刻蚀抛光工序过程中,以预定单位量向刻蚀槽连续补充工作液,以维持所述工作液的浓度,所述工作液包括HF、HNO及HSO,所述刻蚀槽的滚轮的圆周面上具有用于向待抛光硅片背面沾附所述工作液的凹槽,所述凹槽的深度大于等于4mm。上述方案,使得HF、HNO与Si的有效反应增加,提升背面抛光效果,在与现有技术相比不增加HF、HNO3单耗和刻蚀减重的情况下,背面反射率由30%提升至40%,比表面积由1.1降低至小于等于1.05;另外,随着有效反应增加,HF、HNO3的消耗量可以下降20%左右,相应地废酸的排放也下降20%左右,对废酸的处理成本高也相应降低。 申请人:泰州隆基乐叶光伏科技有限公司
地址:225300 江苏省泰州市海陵区兴泰南路268号
国籍:CN
代理机构:北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人:郭栋梁