(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202010274295.7
(22)申请日 2020.04.09
(71)申请人 集美大学
地址 361021 福建省厦门市集美区银江路
185号
(72)发明人 林荣川
(74)专利代理机构 北京权智天下知识产权代理
事务所(普通合伙) 11638
代理人 王新爱
(51)Int.Cl.
C23C 14/50(2006.01)
(54)发明名称
(57)摘要
本发明公开了一种PVD镀膜工件旋转悬挂装
置，涉及真空镀膜辅助设备技术领域，包括底座，
的顶部右端固定连接有工作箱，所述工作箱的内
底壁活动连接有轴承，所述轴承的顶部固定连接
有支撑板，所述支撑板的顶部开设有多个第一凹
槽，所述支撑板的顶部固定连接有多个支撑杆，
所述支撑杆的两端均固定连接有第一连接块，所
述支撑杆的顶端固定连接有连接板。该PVD镀膜
工件旋转悬挂装置，通过第三凹槽和固定块的结
构，可以方便对挂钩的更换，通过圆杆、弹簧和连
接槽的结构，可以对固定块进行固定，通过第二
凹槽和拉板的结构，方便对固定块的拆卸和安
装。权利要求书1页 说明书3页 附图3页CN 111471974 A 2020.07.31
C N 111471974
A
1.一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的内底壁固定连接有电动机(2)，所述底座(1)的顶部右端固定连接有工作箱(3)，所述工作箱(3)的内底壁活动连接有轴承(4)，所述轴承(4)的顶部固定连接有支撑板(5)，所述支撑板(5)的顶部开设有多个第一凹槽(6)，所述支撑板(5)的顶部固定连接有多个支撑杆(7)，所述支撑杆(7)的两端均固定连接有第一连接块(8)，所述支撑杆(7)的顶端固定连接有连接板(9)，所述连接板(9)的底部开设有有多个第二凹槽(10)，所述连接板(9)的底部开设有有多个第三凹槽(11)，所述连接板(9)开设有多个内腔(12)，所述内腔(12)的底壁固定连接有限位板
(13)，所述内腔(12)的底壁开设有滑道(14)，所述限位板(13)的底端固定连接有滑块(15)，所述限位板(13)的左侧固定连接有圆杆(16)，所述限位板(13)的顶部固定连接有滑动板
(17)，所述内腔(12)的顶壁开设有滑槽(18)，所述滑动板(17)的顶部固定连接有拉板(19)，所述内腔(12)的右侧壁固定连接有弹簧(20)，所述第三凹槽(11)的左侧壁固定连接有固定块(21)，所述固定块(21)的底部固定连接有挂钩(22)，所述底座(1)的顶部左端固定连接有真空泵(23)，所述真空泵(23)的抽气管道外表面固定连接有密封圈(24)，所述工作箱(3)的顶部两端均开设有第四凹槽(26)，所述第四凹槽(26)的内表面固定连接有第二连接块
(27)，所述第二连接块(27)的顶部固定连接有盖板(28)，所述盖板(28)的底部固定连接有橡胶垫(29)。
2.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置，其特征在于，
所述固定块(21)的右侧开设有连接槽(31)，所述圆杆(16)的右端与连接槽(31)的内表面固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置，其特征在于，
所述底座(1)的内底壁固定连接有蓄电池(30)，所述密封圈(24)的右侧与工作箱(3)的左侧固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置，其特征在于，
所述底座(1)的顶部固定连接有保护箱(25)，所述真空泵(23)位于保护箱(25)的内部。
5.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置，其特征在于，
所述滑块(15)位于滑道(14)的内部，所述弹簧(20)的右端与限位板(13)固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置，其特征在于，
所述滑动板(17)的中部与滑槽(18)活动连接，所述第一连接块(8)分别和第一凹槽(6)的内表面与第二凹槽(10)的内表面固定连接。
权 利 要 求 书1/1页CN 111471974 A
一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置
技术领域
[0001]本发明涉及真空镀膜辅助设备技术领域，具体为一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置。
背景技术
[0002]PVD(物理气相沉积)镀膜中需要将镀膜工件悬挂在镀膜真空腔中进行真空镀膜，而很多镀膜工件需要对多个面或多个部位进行镀膜，在靶材固定的情况下，只能使工件变化位置，才能使工件各个部位都能镀膜。在中国已授权专利申请公开说明书CN201820685234U中公开的一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置，该专利所述中心齿轮与所述固定盘通过固定杆和固定板配合的方式进行连接，便于分拆主动力固定机构和公自转悬挂机构，但是，实际中该装置在拆卸过程中比较麻烦，而且当装置里面的工件磨损后，不易对工件进行更换。
发明内容
[0003](一)解决的技术问题
[0004]针对现有技术的不足，本发明提供了一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置，解决了上述背景技术中提出的该装置在拆卸过程中比较麻烦，而且当装置里面的工件磨损后，不易对工件进行更换的问题。
[0005](二)技术方案
[0006]为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：
[0007]一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置，包括底座，所述底座的内底壁固定连接有电动机，所述底座的顶部右端固定连接有工作箱，所述工作箱的内底壁活动连接有轴承，所述轴承的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板的顶部开设有多个第一凹槽，所述支撑板的顶部固定连接有多个支撑杆，所述支撑杆的两端均固定连接有第一连接块，所述支撑杆的顶端固定连接有连接板，所述连接板的底部开设有有多个第二凹槽，所述连接板的底部开设有有多个第三凹槽，所述连接板开设有多个内腔，所述内腔的底壁固定连接有限位板，所述内腔的底壁开设有滑道，所述限位板的底端固定连接有滑块，所述限位板的左侧固定连接有圆杆，所述限位板的顶部固定连接有滑动板，所述内腔的顶壁开设有滑槽，所述滑动板的顶部固定连接有拉板，所述内腔的右侧壁固定连接有弹簧，所述第三凹槽的左侧壁固定连接有固定块，所述固定块的底部固定连接有挂钩，所述底座的顶部左端固定连接有真空泵，所述真空泵的抽气管道外表面固定连接有密封圈，所述工作箱的顶部两端均开设有第四凹槽，所述第四凹槽的内表面固定连接有第二连接块，所述第二连接块的顶部固定连接有盖板，所述盖板的底部固定连接有橡胶垫。
[0008]进一步的，所述固定块的右侧开设有连接槽，所述圆杆的右端与连接槽的内表面固定连接。
[0009]进一步的，所述底座的内底壁固定连接有蓄电池，所述密封圈的右侧与工作箱的左侧固定连接。
[0010]进一步的，所述底座的顶部固定连接有保护箱，所述真空泵位于保护箱的内部。[0011]进一步的，所述滑块位于滑道的内部，所述弹簧的右端与限位板固定连接。[0012]进一步的，所述滑动板的中部与滑槽活动连接，所述第一连接块分别和第一凹槽的内表面与第二凹槽的内表面固定连接。
[0013](三)有益效果
[0014]本发明提供了一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置，具备以下有益效果：
[0015](1)、该PVD镀膜工件旋转悬挂装置，通过电动机、轴承和支撑板的结构，可以使支撑板进行旋转，通过盖板、橡胶垫和密封圈的结构，工作箱变成一个密闭箱体，防止外界气体进入工作箱的内部。
[0016](2)、该PVD镀膜工件旋转悬挂装置，通过第三凹槽和固定块的结构，可以方便对挂钩的更换，通过圆杆、弹簧和连接槽的结构，可以对固定块进行固定，通过第二凹槽和拉板的结构，方便对固定块的拆卸和安装。
附图说明
[0017]图1为本发明PVD镀膜工件旋转悬挂装置的立体结构示意图；
[0018]图2为本发明PVD镀膜工件旋转悬挂装置的内部的结构示意图；
[0019]图3为本发明PVD镀膜工件旋转悬挂装置的图2中A处结构的放大示意图；[0020]图4为本发明PVD镀膜工件旋转悬挂装置的盖板的俯视结构示意图；
[0021]图5为本发明PVD镀膜工件旋转悬挂装置的图2中B处结构的放大示意图。[0022]图中：1、底座；2、电动机；3、工作箱；4、轴承；5、支撑板；6、第一凹槽；7、支撑杆；8、第一连接块；9、连接板；10、第二凹槽；11、第三凹槽；12、内腔；13、限位板；14、滑道；15、滑块；16、圆杆；17、滑动板；18、滑槽；19、拉板；20、弹簧；21、固定块；22、挂钩；23、真空泵； 24、密封圈；25、保护箱；26、第四凹槽；27、第二连接块；28、盖板；29、橡胶垫；30、蓄电池；31、连接槽。
具体实施方式
[0023]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。[0024]在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。[0025]在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”
、“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
[0026]此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或
者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0027]请参阅图1-5，本发明提供一种技术方案：
[0028]一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置，包括底座1，底座1的内底壁固定连接有电动机2，底座1的顶部右端固定连接有工作箱3，底座1的顶部固定连接有保护箱25，底座1的内底壁固定连接有蓄电池30，工作箱3的内底壁活动连接有轴承4，轴承4的顶部固定连接有支撑板5，支撑板5的顶部开设有多个第一凹槽6，支撑板5的顶部固定连接有多个支撑杆7，支撑杆7的两端均固定连接有第一连接块8，支撑杆7的顶端固定连接有连接板9，连接板9的底部开设有有多个第二凹槽10，第一连接块8分别和第一凹槽6的内表面与第二凹槽10的内表面固定连接，连接板9的底部开设有有多个第三凹槽11，连接板9开设有多个内腔12，内腔12的底壁固定连接有限位板13，内腔12 的底壁开设有滑道14，限位板13的底端固定连接有滑
块15，滑块15位于滑道14的内部，限位板13的左侧固定连接有圆杆16，限位板13的顶部固定连接有滑动板17，内腔12的顶壁开设有滑槽18，滑动板17的中部与滑槽18 活动连接，滑动板17的顶部固定连接有拉板19，内腔12的右侧壁固定连接有弹簧20，弹簧20的右端与限位板13固定连接，第三凹槽11的左侧壁固定连接有固定块21，固定块21的右侧开设有连接槽31，圆杆16的右端与连接槽31的内表面固定连接，固定块21的底部固定连接有挂钩22，通过第三凹槽11和固定块21的结构，可以方便对挂钩22的更换，通过圆杆16、弹簧 20和连接槽31的结构，可以对固定块21进行固定，通过第二凹槽10和拉板 19的结构，方便对固定块21的拆卸和安装，底座1的顶部左端固定连接有真空泵23，真空泵23位于保护箱25的内部，真空泵23的抽气管道外表面固定连接有密封圈24，密封圈24的右侧与工作箱3的左侧固定连接，工作箱3的顶部两端均开设有第四凹槽26，第四凹槽26的内表面固定连接有第二连接块 27，第二连接块27的顶部固定连接有盖板28，盖板28的底部固定连接有橡胶垫29，通过电动机2、轴承4和支撑板5的结构，可以使支撑板5进行旋转，通过盖板28、橡胶垫29和密封圈24的结构，工作箱3变成一个密闭箱体，防止外界气体进入工作箱3的内部。
[0029]作为本发明的一种优选技术方案：滑块15位于滑道14的内部，弹簧20 的右端与限位板13固定连接。
[0030]工作原理，该PVD镀膜工件旋转悬挂装置，使用时，首先打开盖板28，然后将需要PVD镀膜的工件挂在挂钩22上，需要更换挂钩22时，向右拉动拉板19，连接槽31与圆杆16分离，将固定块21更换即
可，挂好需要PVD镀膜的工件后后，先启动真空泵23将工作箱3的内部变成真空，然后启动电动机2带动支撑板5旋转，开始对工件进行镀膜。
[0031]该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。本申请中涉及到的相关模块均为硬件系统模块或者为现有技术中计算机软件程序或协议与硬件相结合的功能模块，该功能模块所涉及到的计算机软件程序或协议的本身均为本领域技术人员公知的技术，其不是本申请的改进之处；本申请的改进为各模块之间的相互作用关系或连接关系，即为对系统的整体的构造进行改进，以解决本申请所要解决的相应技术问题。
[0032]以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
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