皮秒激光加工设备[发明专利]

专利名称:皮秒激光加工设备
专利类型:发明专利
发明人:尹永俊,金志勋,田民镐,金英培申请号:CN201310527097.7
申请日:20131030
公开号:CN104043899A
公开日:
20140917
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本发明提供一种皮秒激光加工设备,所述皮秒激光加工设备包括:皮秒激光器,被构造为输出皮秒激光束;相位差控制器,位于所述皮秒激光束的路径上,所述相位差控制器被构造为改变所述皮秒激光束的相位差。
申请人:三星显示有限公司
地址:韩国京畿道龙仁市
国籍:KR
代理机构:北京铭硕知识产权代理有限公司

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标签:激光   激光束   知识产权   设备   加工
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