一种离子注入机用光路对中工装[发明专利]

专利名称:一种离子注入机用光路对中工装专利类型:发明专利
发明人:不公告发明人
申请号:CN201610582816.9
申请日:20160722
公开号:CN107644800A
公开日:
20180130
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本发明提供一种离子注入机用光路对中工装,该工装用于完成离子注入机关键光路部件位置校准,以保证离子束沿理论设计路线传输。该对中工装包括激光发射装置、可调整激光器固定架和光路部件工装,该对中工装可以实现对中束流离子注入机的离子源区与平行透镜区进行结构对中校准,保证注入机有最好品质与效率的离子束流传输。
申请人:北京中科信电子装备有限公司
地址:101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号
国籍:CN

本文发布于:2024-09-20 13:44:23,感谢您对本站的认可!

本文链接:https://www.17tex.com/xueshu/786257.html

版权声明:本站内容均来自互联网,仅供演示用,请勿用于商业和其他非法用途。如果侵犯了您的权益请与我们联系,我们将在24小时内删除。

留言与评论(共有 0 条评论)
   
验证码:
Copyright ©2019-2024 Comsenz Inc.Powered by © 易纺专利技术学习网 豫ICP备2022007602号 豫公网安备41160202000603 站长QQ:729038198 关于我们 投诉建议