基于联邦个性化学习的光刻热区检测方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 113222031 A (43)申请公布日 2021.08.06

(21)申请号 CN202110545686.2

(22)申请日 2021.05.19

(71)申请人浙江大学

地址 310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号

(72)发明人卓成林学忠徐金明孟文超朱建新黄炎朱泽晗

(74)专利代理机构 33200 杭州求是专利事务所有限公司

代理人刘静

(51)Int.CI

G06K9/62(20060101)

G06N3/04(20060101)

G06N3/08(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

基于联邦个性化学习的光刻热区检测方法

(57)摘要

本发明公开了一种基于联邦个性化学习的光刻热区检测方法，中心服务器聚合每个节点返回的全局模型参数，用于融合每个节点的共同特征，更新全局模型参数，再把最新的全局模型参数反馈到每个节点；每个节点从中心服务器下载全局模型参数，然后利用本地数据训练局部模型参数，以到当前全局模型参数下局部模型参数的最优，用于克服不同节点的模型异构和数据异构；局部模型参数微调之后，节点利用本地数据训练全部参数，以到当前参数的最优，用于寻不同节点的共同特征。本发明解决了局部数据过少而产生的模型过拟合问题；保护各芯片设计厂商之间的数据，实现隐私保护；提高了异构环境中联邦个性化学习模型的稳定性和整体精度。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2021-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效
2021-08-06	公开	公开
2022-04-12	授权	发明专利权授予