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气体成分确定、调整和使用的方法[发明专利]

专利名称：气体成分确定、调整和使用的方法专利类型：发明专利

发明人：叶祉渊

申请号：CN201910730829.X

申请日：20190808

公开号：CN110823999A

公开日：

20200221

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：提供了用于确定处理腔室内的气体浓度的方法和系统。在一个或多个实施方式中，一种方法包括将第一气体引入气体监测模块的第一空腔中，其中所述第一空腔热耦接到所述气体监测模块的第二空腔，并且其中所述第一空腔包含第一入口并且所述第一气体经由所述第一入口被引入。所述方法包括将包含所述第一气体和第二气体的气体混合物引入第二空腔中，其中所述第二空腔包含第二入口并且气体混合物经由所述第二入口被引入。所述方法还包括：确定所述第一空腔内的第一声速；确定所述第二空腔内的第二声速；以及基于所述第一声速和所述第二声速而确定所述第二空腔中的所述第二气体的浓度。

申请人：应用材料公司

地址：美国加利福尼亚州

国籍：US

代理机构：北京律诚同业知识产权代理有限公司

本文发布于:2024-09-20 14:28:40，感谢您对本站的认可！

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