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真空系统用石英活性气体发生装置[实用新型专利]

专利名称：真空系统用石英活性气体发生装置

专利类型：实用新型专利

发明人：王善忠，许颐璐，杨建荣，俞锦陛，姬荣斌，巫艳，郭世平，何力

申请号：CN96229301.6

申请日：19960213

公开号：CN2273314Y

公开日：

19980128

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本实用新型提供一种新型的适用于超高真空用的用石英材料制作的气态活性原子、分子发生装置。它是将经过减压后工作气体通过真空漏阀输入到石英反应腔。在反应腔，气体与射频电场耦合产生的活性原子的分子的复合体通过泻流孔泄放至超高真空系统。该装置的等离子体发生反应腔使用高纯石英材料制成。石英结构同时起到等离子体反应腔、真空腔密封、气路以及支撑的作用，既简化了等离子体发生器结构，又降低了制备成本。

申请人：中国科学院上海技术物理研究所

地址：200083 上海市中山北一路420号

国籍：CN

代理机构：上海华东专利事务所

代理人：高毓秋

本文发布于:2024-09-20 13:23:57，感谢您对本站的认可！

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