一种矩形恒温平面射频线圈装置[实用新型专利]

专利名称：一种矩形恒温平面射频线圈装置专利类型：实用新型专利

发明人：陈特超，谢利华，李健志，林伯奇，毛朝斌申请号：CN201320334505.2

申请日：20130609

公开号：CN203367328U

公开日：

20131225

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本实用新型涉及太阳能电池片生产设备，即一种矩形恒温平面射频线圈装置，包括反应室和两端加高频电源并产生高频磁场的线圈，所述反应室分为小室和置于小室后端并与小室连通的真空室，所述小室的前端安装用以将线圈产生的高频磁场引入真空室内的耦合窗，小室的前方设有与耦合窗平行的固定板，所述线圈在平面内绕制成矩形螺旋状并固定在固定板上。本实用新型采用圆管绕制成矩形平面螺旋线圈，在矩形线圈两端加高频电源，矩形恒温平面线圈可保证线圈表面温度一致，使产生的等离子体密度一致，从而保证工艺重复性；采用矩形恒温平面线圈可使真空室体采用金属材料制造，克服了石英腔体被刻穿的问题。

申请人：中国电子科技集团公司第四十八研究所

地址：410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号

国籍：CN

代理机构：长沙正奇专利事务所有限责任公司

代理人：马强

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