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耐腐涡轮分子泵叶片的等离子体处理方法[发明专利]

专利名称：耐腐涡轮分子泵叶片的等离子体处理方法专利类型：发明专利

发明人：孙卓，张哲娟，孙鹏，刘素霞

申请号：CN200910047037.9

申请日：20090305

公开号：CN101497982A

公开日：

20090805

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明涉及涡轮分子泵叶片表面处理技术领域，特别是一种耐腐涡轮分子泵叶片的等离子体处理方法，包括如下步骤：(1)等离子体清洗：将叶片放入等离子体处理装置的真空腔体内并抽真空，通入Ar，加射频，进行等离子体清洗；(2)等离子体氧化或氮化：将O或N或NH，通入真空腔体内，气压1Pa－1KPa，加射频功率100－5000W，温度200－400℃，功率密度为1－60W/cm处理1－5h。本发明与现有技术相比，表面处理工艺简单环保，该工艺处理过的铝合金叶片表面所形成的氧化或氮化层致密性高，耐腐蚀能力强。

申请人：苏州晶能科技有限公司

地址：215024 江苏省苏州市工业园区展业路8号中新生态科技城一期标准厂房2-1B楼

国籍：CN

代理机构：北京连城创新知识产权代理有限公司

代理人：刘伍堂

本文发布于:2024-09-20 12:03:47，感谢您对本站的认可！

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