专利名称:薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示装置专利类型:发明专利 发明人:陈小明,赵晓辉,杨倩,施国龙
申请号:CN201880093833.3
申请日:20180530
公开号:CN112470268A
公开日:
20210309
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本发明公开一种薄膜晶体管(10),包括衬底(11)、有源层(12)、第一接触层(13)、第二接触层(14)、栅极绝缘层(15)、栅极(16)、源极(17)及漏极(18),所述有源层(12)、所述第一接触层(13)及所述第二接触层(14)设于所述衬底(11)上,所述栅极(16)在所述衬底(11)上的正投影与所述第一接触层(13)在所述衬底(11)上的正投影之间的交叠面积为零,所述栅极(16)在所述衬底(11)上的正投影与所述第二接触层(14)在所述衬底(11)上的正投影之间的交叠面积为零。本发明还公开一种薄膜晶体管的制作方法、阵列基板和显示装置。
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