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一种面向晶圆扫描平台的精密鲁棒控制方法及系统[发明专利]

专利名称：一种面向晶圆扫描平台的精密鲁棒控制方法及系统专利类型：发明专利

发明人：匡治安，于兴虎，高会军

申请号：CN202010546633.8

申请日：20200616

公开号：CN112462601A

公开日：

20210309

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明涉及一种面向晶圆扫描平台的精密鲁棒控制方法及系统。该方法包括：建立晶圆扫描平台系统模型；获取晶圆扫描平台系统的反馈信号和参考信号；根据上述信号确定晶圆扫描平台的位置误差；根据位置误差设计分数阶滑模面；对分数阶滑模面进行求导处理得到求导处理后的数据；根据求导处理后的数据和晶圆扫描平台系统模型得到等效控制率；确定趋近控制率；根据等效控制率和趋近控制率确定最终控制率；根据最终控制率对晶圆扫描平台控制器的相关参数进行调整。本发明能够解决现有控制方法在晶圆扫描平台上控制精度不够、鲁棒性不足的问题。

申请人：宁波智能装备研究院有限公司

地址：315000 浙江省宁波市镇海区庄市街道光明路189号

国籍：CN

代理机构：北京高沃律师事务所

代理人：杜阳阳

本文发布于:2024-09-22 01:34:20，感谢您对本站的认可！

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