显影废液中四甲基氢氧化铵回收利用方法及装置

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 113415934 A (43)申请公布日 2021.09.21

(21)申请号 CN202110632609.0

(22)申请日 2021.06.07

(71)申请人镇江润晶高纯化工科技股份有限公司

地址 212000 江苏省镇江市镇江新区孩溪路8号

(72)发明人王金城隋希之乔正收

(74)专利代理机构 31374 上海创开专利代理事务所(普通合伙)

代理人谢伟峰

(51)Int.CI

C02F9/10(20060101)

C07C209/84(20060101)

C07C211/63(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

显影废液中四甲基氢氧化铵回收利用方法及装置

(57)摘要

本发明公开了显影废液中四甲基氢氧化铵回收利用方法及装置，所述装置依次包括有一废液收集槽、第一过滤装置、一纳滤装置、第一调节槽、第二调节槽、第二过滤装置，所述装置依次通过带有控制阀的物料管线连接，显影废液通过第一过滤装置去除固体杂质，废液中光阻剂通过纳滤装置去除，滤液进入第一调节槽调节进行收集，纳滤二次废液收集进入第二调节槽沉淀光阻剂后过滤去除光阻剂进入第一调节槽进行收集，第一调节槽内溶液经过调节后进入蒸发浓缩装置进一步浓缩，溶液进入阳离子交换树脂柱去除金属离子，再进行阴离子交换树脂柱得到高纯TMAH水溶液。此方法TMAH回收率高，可连续生产，过程节能环保,易于推广使用。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2021-10-12	实质审查的生效	实质审查的生效
2021-09-21	公开	公开
2023-07-21	发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):C02F 9/10专利申请号:2021106326090申请公布日:20210921	发明专利申请公布后的驳回