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提高谐振式超薄悬臂梁传感器灵敏度的表面应力敏感方法[发明专利]

专利名称：提高谐振式超薄悬臂梁传感器灵敏度的表面应力敏感方法

专利类型：发明专利

发明人：夏晓媛，李昕欣

申请号：CN200910045484.0

申请日：20090116

公开号：CN101477029A

公开日：

20090708

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明涉及一种提高谐振式超薄悬臂梁传感器的表面应力敏感方法，属于微机械传感技术领域。具体特征是在超薄的谐振式悬臂梁的上、下表面上均自组装生长能够进行选择特异性识别的单分子敏感膜，当敏感分子与待检测的目标分子特异性结合后，目标分子之间的相互作用在悬臂梁的表面上产生了表面应力，上下表面应力的共同作用导致悬臂梁的弹性系数发生变化，从而改变了悬臂梁的固有谐振频率，通过测量谐振频率的变化即可实现对目标分子的检测。同传统的利用质量吸附方法进行敏感测试相比，利用这种表面应力敏感的方法进行生化痕量测试，其灵敏度可以提高一个数量级。本发明特点是原理简单、灵敏度高、容易实现。

申请人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

地址：200050 上海市长宁区长宁路865号

国籍：CN

代理机构：上海智信专利代理有限公司

代理人：潘振甦

本文发布于:2024-09-20 11:43:51，感谢您对本站的认可！

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