被加工物的加工方法[发明专利]

专利名称：被加工物的加工方法专利类型：发明专利

发明人：田中英明

申请号：CN201810193729.3申请日：20180309

公开号：CN108573919A

公开日：

20180925

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：提供被加工物的加工方法，缩短加工所需时间。该方法包含：保持步骤，按照使功能层露出的方式利用卡盘工作台对被加工物进行保持；槽形成步骤，按照第1速度使卡盘工作台在加工进给方向上移动，利用第1切削刀具依次对沿第1方向延伸的多条分割预定线进行切削而在被加工物上形成槽，从而将与分割预定线重叠的功能层去除；第1深切步骤，在槽形成步骤的实施中，利用第2切削刀具进一步切削已形成在沿第1方向延伸的分割预定线上的槽而进行深切；第2深切步骤，在槽形成步骤之后，按照比第1速度快的第2速度使卡盘工作台在加工进给方向上移动，利用第2切削刀具进一步切削沿第1方向延伸的分割预定线的槽中未通过第1深切步骤被深切的槽而进行深切。

申请人：株式会社迪思科

地址：日本东京都

国籍：JP

代理机构：北京三友知识产权代理有限公司

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