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一种实现干涉测量快速聚焦的方法[发明专利]

专利名称：一种实现干涉测量快速聚焦的方法专利类型：发明专利

发明人：夏勇，孙焱，唐寿鸿

申请号：CN201510535897.2

申请日：20150827

公开号：CN105158892A

公开日：

20151216

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种实现干涉测量快速聚焦的方法。在聚焦过程中，使用干涉显微系统在Z方向上扫描样品获取图像，运用本发明的聚焦函数方法，到灰度差和最大的那幅图像，该图像对应的位置就是聚焦点。本发明的聚焦方法相对于传统方法而言，运算时间成倍减少，干涉显微镜系统的操作流程也得到简化。并且新型聚焦评价函数无需考虑区域相关性，在数据处理过程中，可采用隔行计算，减少计算量的同时，还不影响评价值的有效性。

申请人：镇江超纳仪器有限公司(中外合资)

地址：212000 江苏省镇江市丁卯区智慧大道468号双子楼A座1809

国籍：CN

代理机构：南京苏高专利商标事务所(普通合伙)

代理人：张弛

本文发布于:2024-09-20 14:20:25，感谢您对本站的认可！

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