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一种光伏增效微结构紫外激光加工装置及方法[发明专利]

专利名称：一种光伏增效微结构紫外激光加工装置及方法专利类型：发明专利

发明人：孙爱西，鄂世举，张昱，王成武，蔡建程，寇建龙，楼刚，郑佳佳

申请号：CN202111190725.8

申请日：20211013

公开号：CN114012268A

公开日：

20220208

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明涉及一种光伏增效微结构紫外激光加工装置及方法，所述装置包括有工件，工件设置在工作箱内底部，所述工作箱下方通过螺纹连接安装有Y直线运动模块，所述Y直线运动模块安装在平台框架上；所述平台框架横梁上安装有X直线运动模块，所述X直线运动模块上安装有Z直线运动模块；Z直线运动模块上通过铝制连接件安装有激光器，所述平台框架的一侧通过耐酸碱水管连接有耐酸碱水箱，所述耐酸碱水管上从靠近工作箱一侧依次设置有压力表、耐酸碱水泵和过滤器；本发明的优点是采用微结构加工的一次成形方法，在激光纳秒级脉冲内，溶液层下紫外激光通过光化学刻蚀去除玻璃材料、形成表面微结构。

申请人：浙江师范大学

地址：321000 浙江省金华市迎宾大道688号

国籍：CN

代理机构：沈阳互晟专利代理事务所(普通合伙)

代理人：李奕潼

本文发布于:2024-09-20 18:01:27，感谢您对本站的认可！

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