专利名称：一种高精度材料放气率测试系统及其测试方法专利类型：发明专利 发明人：杨传森，卢耀文，余荣，田虎林，王欢，魏萌萌
申请号：CN201911123671.6
申请日：20191117
公开号：CN110865002A
公开日：
20200306
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开了一种高精度材料放气率测试系统及其测试方法，属于高精度材料放气率测试领域，包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空计、第二真空计、第三真空计、机械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门，第七真空阀门，第八真空阀门，第九真空阀门，本发明采用包含对称结构材料放气测试装置和温控单元的系统，采用两个结构和尺寸均相同的测量室，对称结构的材料放气测试系统实现了样品和测试系统本底放气的同时测量，不仅提高了测量精度，而且将原有的测量过程缩短了一半时间，提高了测量效率。
申请人：北京东方计量测试研究所
地址：100083 北京市海淀区知春路82号院
国籍：CN
代理机构：北京善任知识产权代理有限公司
代理人：金杨
豫公网安备41160202000603
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