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一种六氟化硫(SF)气体检测方法[发明专利]

专利名称：一种六氟化硫(SF)气体检测方法专利类型：发明专利

发明人：姚永帮，孙洪涛

申请号：CN200410103239.8

申请日：20041231

公开号：CN1664563A

公开日：

20050907

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明涉及一种六氟化硫气体的检测方法，确切地说是一种灵敏度较高的用红外光谱吸收法检测六氟化硫气体泄漏的方法，是通过红外光源用波段1700cm、1620cm、900cm和610cm，光谱带宽约为2μm的红外光照射SF易泄漏点或样品池，在上述被测处的另一边设有光电探测器，通过所述光电探测器给出红外光谱强度的变化量，即可获得被测处SF的含量状况。本发明的有益效果是：利用红外光谱吸收技术直接检测SF气体泄漏，可以实现高灵敏度检测和分析，测量精度可高于百万分之一，检测分辨率达到0.1ppm量级，如果有特殊检测需要，通过设置相应的低损耗光学系统和高灵敏光电探测器，测量精度可进一步提高。

申请人：合肥东能光电科技有限公司

地址：230001 安徽省合肥市宿州路1号教师新村B5栋105室

国籍：CN

代理机构：安徽合肥大夏专利事务所

代理人：季晟

本文发布于:2024-09-20 14:51:45，感谢您对本站的认可！

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