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一种新型高效镀膜装置[实用新型专利]

专利名称：一种新型高效镀膜装置专利类型：实用新型专利

发明人：汪友林

申请号：CN201020182921.1

申请日：20100401

公开号：CN201670871U

公开日：

20101215

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本实用新型提供一种新型高效镀膜装置，包括一真空镀膜室，在该真空镀膜室内壁上设有隔热屏蔽层，外壁上接有真空抽气系统。所述真空镀膜室内安装有一个或多个磁控溅射靶，所述磁控溅射靶位于一距真空镀膜室中心一定距离的圆周上。在上述磁控溅射靶所在圆周与真空镀膜室中心之间的一圆周上安装有一个或多个工件架。同样，在上述磁控溅射靶所在圆周与真空镀膜室内壁之间的一圆周上也安装有一个或多个工件架。本实用新型采用在真空镀膜室内设有内外两圈工件转架结构，既能提高每炉镀膜产品的数量且保证镀膜质量，而且可以有效且合理地利用真空镀膜室的内部空间，从而极大地节省了能源消耗。

申请人：深圳森丰真空镀膜有限公司，森科五金(深圳)有限公司

地址：518101 广东省深圳市宝安区71区留仙一路引进工业大厦八楼

国籍：CN

本文发布于:2024-09-20 13:40:38，感谢您对本站的认可！

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