(10)申请公布号
(43)申请公布日 (21)申请号 201510139806.3
(22)申请日 2015.03.27
C23C 14/35(2006.01)
(71)申请人天津市兆益金科科技有限公司
地址300112 天津市西青区泰和都市工业园
营瑞路26号
(72)发明人张步晓 张宁 李政
(74)专利代理机构天津市新天方有限责任专利
代理事务所 12104
代理人
张强
(54)发明名称
(57)摘要
本发明公布了一种绑定式硅旋转靶材的制备
方法，包括以下步骤：晶体硅管和不锈钢管的准
备、套管和绑定。将制备的4或5个晶体硅管紧密
套在不锈钢管上，在晶体硅管和不锈钢管之间的
套管缝隙处涂敷一种黏合剂进行绑定，使它们成
为一个整体，联结牢固无缝隙。该方法较热等静
压法和喷涂法成本更低，得到的靶材密度高、性能
好，制备方法过程简单，易于操作，在真空环境下
进行不会产生粉体和污染颗粒物，安全环保。(51)Int.Cl.
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书1页 说明书2页 附图1页
(10)申请公布号CN 104746029 A (43)申请公布日2015.07.01
C N 104746029
A
1.一种绑定式硅旋转靶材的制备方法，其特征在于包括以下步骤：晶体硅管和不锈钢管的准备、套管和绑定。
2.根据权利要求1所述的一种绑定式硅旋转靶材的制备方法，其特征在于套管过程是在真空环境下，不锈钢管上套4或5个晶体硅管使其排列紧密。
3.根据权利要求1所述的一种绑定式硅旋转靶材的制备方法，其特征在于绑定过程是在真空环境下，不锈钢管和硅管之间的套管缝隙处涂敷一种黏合剂进行绑定，使它们成为一个整体，联结牢固无缝隙。
4.根据权利要求3所述一种绑定式硅旋转靶材的制备方法，其特征在于所用黏合剂包括合成树脂、合成橡胶、聚氨酯、硅酮。
一种绑定式硅旋转靶材的制备方法
技术领域
[0001] 本发明属于半导体材料领域，涉及一种硅旋转靶材的制备方法，尤其涉及一种绑定式硅旋转靶材的制备方法。
背景技术
[0002] 硅旋转靶材是一种以硅为原材料的圆筒式磁控靶材，内套有不锈钢管，应用于玻璃、半导体、平板电视等领域。传统的旋转靶材制备有热等静压法和喷涂法，热等静压是一种制品在高温、高压密闭容
器内得以烧结和致密化的方法，但成本较高；喷涂方法会产生较多的喷涂粉体，而且往往喷涂不均匀，得到的靶材密度低、利用率低、性能差，无法满足高端行业对于靶材质量的要求。国内从事硅旋转靶领域的工作者较少，技术不完善或缺乏，需要开发新方法来提高旋转靶材的质量。
发明内容
[0003] 本发明的目的在于克服现有方法中成本高、得到靶材密度低等缺陷而提供一种新型的绑定式硅旋转靶材的制备方法。
[0004] 为实现上述目的本发明采用的技术方案是提供了一种绑定式硅旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：晶体硅管和不锈钢管的准备、套管和绑定。
[0005] 套管过程是在真空环境下，不锈钢管上套4或5个晶体硅管使其排列紧密。[0006] 绑定过程是在真空环境下，不锈钢管和硅管之间的套管缝隙处涂敷一种黏合剂进行绑定，使它们成为一个整体，联结牢固无缝隙。
[0007] 尤其是，绑定所用黏合剂包括合成树脂、合成橡胶、聚氨酯、硅酮。
[0008] 本发明提出一种新型的硅旋转靶材的制备方法，以管状晶体硅和不锈钢管为原料，采用绑定法将不锈钢管和晶体硅管联结制得靶材。与现有工艺相比，具有以下优点：成本低；制得的靶材硅材料密度
高，性能好；制备工艺过程简单，易于操作，在真空环境进行不会产生粉体和污染颗粒物，安全环保。
附图说明
[0009] 图1为本发明绑定式硅旋转靶材的工艺流程图。
[0010] 图2为实施例1中绑定式硅旋转靶材示意图。
[0011] 图3为实施例2中绑定式硅旋转靶材示意图。
[0012] 图示标号：1晶体硅管，2不锈钢管，3套管缝隙。
具体实施方式
[0013] 下面结合实施例及其附图进一步说明本发明。
[0014] 如图1,2所示实施例1，具体步骤如下：准备高度为35厘米、直径为10厘米的晶体硅管1和配套的不锈钢管2；将4个相同尺寸的晶体硅管1套于不锈钢管2上，紧密排列；
在晶体硅管1和不锈钢管2之间形成一套管缝隙3，用环氧树脂粘合剂进行绑定，使它们成为一个整体，联结牢固无缝隙，剪切两头剩余的不锈钢管得到该绑定式硅旋转靶材。[0015] 如图1,3所示实施例2，具
体步骤如下：准备高度为25厘米、直径为15厘米的晶体硅管1和配套的不锈钢管2；将5个相同尺寸的晶体硅管1套于不锈钢管2上，紧密排列；在晶体硅管1和不锈钢管2之间形成一套管缝隙3，用聚氨酯粘合剂进行绑定，使它们成为一个整体，联结牢固无缝隙，剪切两头剩余的不锈钢管得到该绑定式硅旋转靶材。
图
1
图
2
图3
豫公网安备41160202000603
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