用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统及方法、手臂

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 113451197 A (43)申请公布日 2021.09.28

(21)申请号 CN202110724907.2

(22)申请日 2021.06.28

(71)申请人深圳市星国华先进装备科技有限公司

地址 518000 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-23号车间区501

(72)发明人尹明清

(74)专利代理机构 34204 合肥国晟知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人戈余丽

(51)Int.CI

H01L21/683(20060101)

H01L21/677(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统及方法、手臂

(57)摘要

本发明公开了用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统及方法、手臂，涉及半导体生产技术领域，底座的上端固定安装有机械手，底座和机械手之间共同固定安装有真空吸附机构，真空吸附机构的底部固定安装有调节组件，通过真空吸附的方式，来实现对晶圆的传送，而调节板的设置，可实现对管内开口的大小进行调节，进而改变进气压力的大小，实现吸附力调节，使其可满足不同对不同厚度的晶圆进行传送，调节的同时还可清晰的确定旋转的角度，便于工作人员记录和查看，另外，本结构还可实现对两侧吸盘组的间距进行调节，使其可适配多种直径大小的晶圆，而吸盘采用螺纹连接的方式，不仅便于安装和拆卸，而且出现部分损坏时还便于快速更换。

法律状态