光声探测器单元、光声传感器和所属的制造方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(10)申请公布号 CN 112986149 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 CN202011251981.9
(22)申请日 2020.11.11
(71)申请人 英飞凌科技股份有限公司
    地址 德国诺伊比贝尔格
(72)发明人 R·M·沙勒 M·埃贝尔 S·加斯纳 F·约斯特 S·科尔布
(74)专利代理机构 11256 北京市金杜律师事务所
    代理人 闫昊
(51)Int.CI
      G01N21/17(20060101)
                                                                  权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
      光声探测器单元、光声传感器和所属的制造方法
(57)摘要
      在此公开光声探测器单元、光声传感器和所属的制造方法。光声探测器单元包括具有开口的壳体和光声换能器,该光声换能器被设计用于将光辐射转换为以下至少一项:压力信号或热信号。光声换能器覆盖壳体的开口,使得光声换能器和壳体形成声学密封腔。压力传感器布置在声学密封腔中。
法律状态
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2021-06-18
公开
公开
2021-07-06
实质审查的生效
实质审查的生效
权 利 要 求 说 明 书
【光声探测器单元、光声传感器和所属的制造方法】的权利说明书内容是......
说  明  书
【光声探测器单元、光声传感器和所属的制造方法】的说明书内容是......

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标签:光声   说明书   探测器   传感器   单元   壳体   状态
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