一种金属缓蚀剂及其制备方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 114164430 A (43)申请公布日 2022.03.11

(21)申请号 CN202111444113.7

(22)申请日 2021.11.30

(71)申请人哈尔滨工业大学(深圳)

地址 518055 广东省深圳市南山区西丽大学城哈工大校区

(72)发明人游恒志苏铭浩卿晶沈桂富张颖鹤陈芬儿

(74)专利代理机构 44375 深圳市韦恩肯知识产权代理有限公司

代理人李华双

(51)Int.CI

C23F11/10(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种金属缓蚀剂及其制备方法

(57)摘要

本申请公开一种金属缓蚀剂及其制备方法，金属缓蚀剂包括：10～30重量份的噻吩羧酸物质，50～200重量份的第一溶剂，10～30重量份的添加物，10～20重量份的二氧六环，5～15重量份的甲硫氨酸，20～120重量份的碱性试剂，10～20重量份的第二溶剂，10～30重量份的酸性试剂，其中，第一溶剂为二氯甲烷、或甲苯，第二溶剂为水或二氧六环，添加物为草酰氯或二氯亚砜，当添加物草酰氯为时，金属缓蚀剂还包括：0.1～0.5重量份的催化剂，本申请的金属缓蚀剂使用噻吩羧酸物质和甲硫氨酸等作为原料，原料的来源广泛，成本低廉，且无毒无害，绿环保。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2022-03-11	公开	发明专利申请公布
2022-03-29	实质审查的生效IPC(主分类):C23F11/10专利申请号:2021114441137申请日:20211130	实质审查的生效
2023-06-20	授权	发明专利权授予