一种中红外超导纳米线单光子探测器

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 112798116 A (43)申请公布日 2021.05.14

(21)申请号 CN202110042317.1

(22)申请日 2021.01.13

(71)申请人南京大学

地址 210023 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号

(72)发明人张蜡宝陈奇葛睿李飞燕张彪靳飞飞韩航康琳吴培亨

(74)专利代理机构 32207 南京知识律师事务所

代理人康翔

(51)Int.CI

G01J11/00(20060101)

H01L39/12(20060101)

B82Y30/00(20110101)

B82Y40/00(20110101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种中红外超导纳米线单光子探测器

(57)摘要

本发明公开了一种中红外超导纳米线单光子探测器，采用电子束光刻技术和反应离子刻蚀技术，将含Mo、Si非晶或多晶超导薄膜，制成超导纳米线，作为探测器的光敏面，实现了中红外SNSPD的有效制备；采用中红外光源、可调衰减器、准直器、带通滤波器、稀释制冷机、光敏面、偏置器、放大器和计数器，组成探测器，采用自由空间耦合技术，有效解决了光纤耦合中红外SNSPD的难题；发射并接收中红外波段的光子，计算单位时间到达光敏面的光子数，为有效计算中红外SNSPD量子探测效率奠定了基础。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2021-05-14	公开	公开
2021-06-01	实质审查的生效	实质审查的生效
2022-03-18	授权	发明专利权授予