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工艺控制方法与工艺控制系统[发明专利]

专利名称：工艺控制方法与工艺控制系统

专利类型：发明专利

发明人：吴俊达，萧世宗，陈建中，吴皇卫，陈煌文，彭圣修申请号：CN201410441976.2

申请日：20140902

公开号：CN105336646A

公开日：

20160217

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明涉及一种工艺控制方法和工艺控制系统。所述工艺控制方法适用于对批次的多个晶圆进行沉积工艺，包括：根据机台的历史信息与批次的产品信息来决定批次的晶圆的摆放位置；根据批次的晶圆的摆放位置与机台的历史信息来求出各摆放位置的目标值；根据机台的历史信息、批次的产品信息以及各摆放位置的目标值来求出工艺参数；以及根据批次的晶圆的摆放位置与工艺参数进行沉积工艺。

申请人：力晶科技股份有限公司

地址：新竹科学工业园区

国籍：CN

代理机构：北京市柳沈律师事务所

代理人：史新宏

本文发布于:2024-09-20 17:17:58，感谢您对本站的认可！

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