专利类型：发明专利
发明人：卢荻，丁孙安，丁祥金，黄增立，陆晓鸣，阮颖华，丁祥飞申请号：CN201611000379.1
申请日：20161114
公开号：CN108068118A
公开日：
20180525
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明揭示一种应用于真空互联系统的样品传送系统，包括真空管道；至少两个样品托及与该至少两个样品托相应的两个真空升降台；至少一个全机械驱动机械手，该全机械驱动机械手至少用于样品在样品托和样品托之间的传送，以及驱动样品的上下面翻转；至少一个样品机械手，该样品机械手至少用于将样品托中的样品取送至对应设备；至少两个真空磁力杆，分别用于驱动全机械驱动机械手和勺形样品机械手。采用真空中全机械运动实现样品从一个样品托到另一个样品托或设备的传送，以及对样品上下面的翻转，真空中不采用电动或气动伺服驱动样品传送过程，不影响整系统的真空度、洁净度，且能适应真空互联系统中局域高温工作条件和空间尺寸。 申请人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，上海磐颖实业有限公司
地址：215123 江苏省苏州市苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号
国籍：CN
代理机构：南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：王锋
豫公网安备41160202000603
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