微流体流速传感芯片、检测系统及检测方法[发明专利]

专利名称:微流体流速传感芯片、检测系统及检测方法专利类型:发明专利
发明人:严国锋,张良,李莹,何赛灵
申请号:CN201510399873.9
申请日:20150706
公开号:CN104950133A
公开日:
20150930
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本发明公开了一种微流体流速传感芯片、检测系统及检测方法,芯片包括基于微结构布拉格光栅的流速传感单元和微流芯片;基于微结构布拉格光栅的流速传感单元插入微流芯片的光纤通道,微流槽与微流通道对准齐平后;本发明将微流通道嵌入传感单元当中,微流通道内通入待测微流体后,微流槽区域光纤热平衡发生变化,引起相移区的温度发生变化,最终导致相移量变化,引起微结构相移布拉格光栅的反射谱上分裂点波长的漂移;根据此波长的漂移量与流速的标定关系,即可反推出微流通道内微流液体的流速大小;本发明具备集成度高,测量准确,灵敏度及空间分辨率高,抗干扰性强等特点,不仅适于单点流速测量,同样可以实现多点准分布式流速监控。
申请人:浙江大学
地址:310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
国籍:CN
代理机构:杭州求是专利事务所有限公司
代理人:邱启旺

本文发布于:2024-09-20 16:29:54,感谢您对本站的认可!

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标签:流速   芯片   传感
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