感光性膜及永久遮罩阻剂的形成方法[发明专利]

专利名称:感光性膜及永久遮罩阻剂的形成方法专利类型:发明专利
发明人:饵取英树,北村佳子,布施好章,古室伸仁申请号:CN201980032059.X
申请日:20190509
公开号:CN112352198A
公开日:
20210209
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本发明的感光性膜具备:具有表面粗糙度为0.1~0.4μm的第1面的载体膜、及形成于所述第1面上的感光层,载体膜的雾度为30~65%,且将具有与感光层的折射率的差为±0.02以内的折射率的透明树脂层设置于第1面上所测得的在405nm波长下的分光雾度为0.1~9.0%。
申请人:昭和电工材料株式会社,株式会社木本
地址:日本东京
国籍:JP
代理机构:北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人:刘媛媛

本文发布于:2024-09-20 14:26:02,感谢您对本站的认可!

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标签:专利   知识产权   感光性   布施   形成   具有   代理
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