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一种BBO晶体的表面机械冷加工方法[发明专利]

专利名称：一种BBO晶体的表面机械冷加工方法

专利类型：发明专利

发明人：李雄，余正建，范泉钦，陈仕积，郑演，张星，陈秋华，陈伟申请号：CN201911041654.8

申请日：20191030

公开号：CN110640555A

公开日：

20200103

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种BBO晶体的表面机械冷加工方法，分为热胶上盘、细磨、高速抛光、低速抛光、精细抛光、精密抛光、光胶等工序。首先使用热胶将BBO晶体粘结后用W12氧化铝研磨液在氧化铝磨盘上细磨，其次使用W2.0的钻石抛光液在聚氨酯抛光垫上高速抛光，之后使用W0.25、

W0.125钻石抛光液在沥青抛光盘上进行低速和精细抛光，最后使用W0.05的钻石抛光液在聚氨酯抛光垫上进行精密抛光。在200倍显微镜下在线检测BBO晶体表面质量合格后，送后道下盘、清洗、检验。本发明提供一种BBO晶体的表面机械冷加工方法，适用于BBO晶体工业化批量生产，能得到表面质量S/D达10/5，平面度达λ/8的BBO晶体产品。

申请人：福建福晶科技股份有限公司

地址：350003 福建省福州市软件大道89号F区9号楼

国籍：CN

本文发布于:2024-09-20 19:53:15，感谢您对本站的认可！

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