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抗蚀剂图案被覆用涂布液及图案的形成方法[发明专利]

专利名称：抗蚀剂图案被覆用涂布液及图案的形成方法专利类型：发明专利

发明人：西田登喜雄，坂本力丸

申请号：CN201680018377.7

申请日：20160318

公开号：CN107430355A

公开日：

20171201

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本申请的课题在于提供一种新的抗蚀剂图案被覆用涂布液。作为解决本发明课题的手段为一种抗蚀剂图案被覆用涂布液，其包含：具有下述式(1)所示的结构单元的聚合物，下述式(2)所示的伯胺、仲胺或叔胺，以及能够溶解上述聚合物和胺的下述式(3)所示的酯。[(式(1)中，R表示氢原子或甲基，L表示可以具有至少1个取代基的二价的芳香族基团、‑C(＝O)‑O‑基或‑C(＝O)‑NH‑基，X表示氢原子、或者碳原子数1～10的直链状或支链状的烷基或烷氧基，该烷基中的至少1个氢原子可以被卤原子或羟基取代。)(式(2)中，R、R和R各自独立地表示氢原子、羟基、或者碳原子数1～16的直链状、支链状或环状的有机基团。)(式(3)中，R和R各自独立地表示碳原子数1～16的直链状或支链状的有机基团。)]。

申请人：日产化学工业株式会社

地址：日本东京都

国籍：JP

代理机构：北京市中咨律师事务所

本文发布于:2024-09-20 17:43:17，感谢您对本站的认可！

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