(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910255603.9
(22)申请日 2019.04.01
(71)申请人 电子科技大学
地址 611731 四川省成都市高新区（西区）
西源大道2006号
(72)发明人 李亚峰 余承勇 高冲 龙嘉威
高勇 张云鹏 李恩 郭高凤
(74)专利代理机构 电子科技大学专利中心
51203
代理人 甘茂
(51)Int.Cl.
G01J 1/42(2006.01)
(54)发明名称
置及方法
(57)摘要
本发明属于光功率检测领域，提供基于准光
腔微波谐振原理的光功率检测装置及方法，用以
克服传统光功率检测技术检测幅值范围较小、且
技术和成本限制了其使用条件和应用范围的问
题。本发明光功率检测装置中，采用场强集中、品
质因数较高的准光学谐振腔作为光功率信号传
感器装置，将检测困难的宽量程待测光功率信号
转化为小量程、易观测的微波信号，再利用微波
器件检测技术实现对光信号的宽量程、高精度检
测；同时，该装置亦具有响应速度快、灵敏度高、
测试精度高、材料成本低、
设计加工简单等优点。权利要求书1页 说明书4页 附图2页CN 109932057 A 2019.06.25
C N 109932057
A
权 利 要 求 书1/1页CN 109932057 A
1.基于准光腔微波谐振原理的光功率检测装置，包括：矢量网络分析仪、准光学谐振腔、光源、光敏材料InP、平面反射镜样品台及一维移动平台；其特征在于，所述矢量网络分析仪通过微波线缆与准光学谐振腔相连，所述平面反射镜样品台水平固定于一维移动平台上；所述光敏材料InP水平放置于平面反射镜样品台中心位置处；所述光源斜入射到光敏材料InP上、且采用光辐射功率可调光源。
2.按权利要求1所述基于准光腔微波谐振原理的光功率检测装置，其特征在于，所述一维移动平台的调节方向为竖直方向。
3.按权利要求1所述基于准光腔微波谐振原理的光功率检测装置，其特征在于，所述准光学谐振腔工作频段为20～40GHz，品质因数1万以上，且具有8个以上的可用谐振频率。
4.按权利要求1所述基于准光腔微波谐振原理的光功率检测装置，其特征在于，所述准光学谐振腔的球面反射镜和平面反射镜样品台均采用黄铜制作，且表面依次涂覆有银、金金属膜层。
5.按权利要求1所述基于准光腔微波谐振原理的光功率检测装置，其特征在于，所述光学谐振腔由同轴耦合环进行馈电。
6.基于准光腔微波谐振原理的光功率检测方法，包括以下步骤：
步骤1：将光敏材料InP水平放置于平面反射镜样品台中心位置处，调节一维移动平台，选取准光学谐振腔内品质因数最高的谐振模式作为工作检测模式；
步骤2：通过矢量网络分析仪将所选工作检测模式对应的频率f0进行标记，并记录此状态下谐振峰幅值A0；
步骤3：打开光源，入射到光敏材料InP上，记录入射角度θ及光源光辐射功率P1，并测量准光学谐振腔的谐振峰幅值A1；
步骤4：计算打开光源前后谐振峰幅值偏移量ΔA1：ΔA1＝A1–A0；
步骤5：依次调节光源的光辐射功率为P2、P3、...、P N，进而获得光辐射功率条件下的谐振峰幅值偏移量ΔA2、ΔA3、...、ΔA N；得到P-ΔA数据统计表；
步骤6：将待测光按照角度θ入射到光敏材料InP上，经过测量、计算得谐振峰幅值偏移量ΔA，查阅P-ΔA数据统计表，即得到待测光的光辐射功率P。
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