一种用于光纤阵列的输入光信号发生装置及光刻系统

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 113189709 A (43)申请公布日 2021.07.30

(21)申请号 CN202110419670.7

(22)申请日 2021.04.19

(71)申请人之江实验室;浙江大学

地址 310023 浙江省杭州市余杭区文一西路1818号人工智能小镇10号楼

(72)发明人匡翠方罗昊李海峰刘旭魏震马程鹏

(74)专利代理机构 33200 杭州求是专利事务所有限公司

代理人邱启旺

(51)Int.CI

G02B6/35(20060101)

G02B6/27(20060101)

G03F7/20(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种用于光纤阵列的输入光信号发生装置及光刻系统

(57)摘要

本发明公开了一种用于光纤阵列的输入光信号发生装置及光刻系统，基于空间光调制器、数字微镜装置、微透镜阵列等光学元器件构成。本发明通过空间光调制器将入射的单束激光束调制成多光束阵列，然后通过数字微镜装置将光束阵列中任意子光束反射至微透镜阵列中的一个对应的微透镜中，每个子光束通过微透镜聚焦后入射到光纤阵列中的一根光纤中。通过对数字微镜装置的编程控制，可实现对光纤阵列中每一路输入光信号通断的高速切换。本发明可有效利用光源功率进行多路光分束并耦合进光纤阵列，并可实现光纤阵列中每根光纤独立可控的高速光开关信号输入。本发明可作为关键性器件被应用于基于光纤的通信、传感、成像、光学微加工等领域。

法律状态