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一种基于光学检测的微机电系统平台[实用新型专利]

专利名称：一种基于光学检测的微机电系统平台

专利类型：实用新型专利

发明人：杜亦佳，周泉丰，代刚，张健，李顺，刘利芳，方雯，任尚清申请号：CN201720407299.1

申请日：20170418

公开号：CN206920009U

公开日：

20180123

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本实用新型公开一种基于光学检测的微机电系统平台，包括：平台主体、光学检测机构和外部封装板；平台主体包括振动平台；外部封装板形成密闭空间，将平台主体和光学检测机构封装在密闭空间内部；光学检测机构包括激光器、反射镜、二极管阵列；反射镜水平固定在振动平台顶部，镜面朝向外部封装板的顶部；激光器和二极管阵列位于外部封装板顶部内侧，二极管阵列包括多个光电二极管；二极管阵列围绕在激光器周围；激光器发出的光照射到反射镜上，经反射镜的反射后形成的反射光照射到二极管阵列上；二极管阵列检测反射光的光强。本实用新型公开的微机电系统平台，提高了测量结果的线性度，提高了检测精度。

申请人：中国工程物理研究院电子工程研究所

地址：621000 四川省绵阳市游仙区绵山路64号

国籍：CN

代理机构：北京高沃律师事务所

代理人：王加贵

本文发布于:2024-09-21 01:50:17，感谢您对本站的认可！

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