氧化锌薄膜制备方法[发明专利]

专利名称：氧化锌薄膜制备方法专利类型：发明专利

发明人：何刚，吴紫阳，蔡金华

申请号：CN200710046153.X 申请日：20070920

公开号：CN101125676A

公开日：

20080220

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种材料技术领域的氧化锌薄膜制备方法，步骤为：第一步，制备前驱体溶液：称取硝酸锌和柠檬酸溶于去离子水中，在磁力搅拌器上具塞加热使得柠檬酸能够和阳离子充分络合，然后去塞，加入乙二醇，持续加热并搅拌，待溶液冷却后，加入乙醇并于保温。第二步，薄膜的基本制备工艺为：在衬底上滴数滴第一步制备得到的前驱体溶液，待乙醇基本挥发完毕后摊胶，然后预烧初步去除有机物，过程重复以达到目标厚度，最后退火。本发明采用改进的水基Pechini方法制备出了高质量的ZnO薄膜。除了采用去离子水作为溶剂外，乙醇被用来改善前驱体溶液的性质以提高薄膜的质量。

申请人：上海交通大学

地址：200240 上海市闵行区东川路800号

国籍：CN

代理机构：上海交达专利事务所

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