一种用于TFT-LCD行业CF制程的负胶显影液

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 114236981 A (43)申请公布日 2022.03.25

(21)申请号 CN202111398974.6

(22)申请日 2021.11.24

(71)申请人苏州博洋化学股份有限公司

地址 215000 江苏省苏州市高新区浒墅关镇华桥路155号

(72)发明人李华平陈浩王润杰

(74)专利代理机构

代理人

(51)Int.CI

G03F7/32(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种用于TFT-LCD行业CF制程的负胶显影液

(57)摘要

本发明属于金属蚀刻技术领域，特别涉及一种用于TFT‑LCD行业CF制程的负胶显影液，由以下质量百分含量的组分组成：5‑25wt%无机碱、2‑10wt%表面活性剂、2‑10wt%水溶助长剂和余量的去离子水，所述表面活性剂为烷基硫酸盐与烷基糖苷组合物LF‑802与乙氧基季铵盐组合物LF‑810的1:1~1:2质量比的混合物。本发明负胶显影剂具有分散稳定性高、显影后图案清晰、无毛边、无光刻胶残留、无底切、末期光刻胶无反粘等特点。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2022-03-25	公开	发明专利申请公布
2022-04-12	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/32专利申请号:2021113989746申请日:20211124	实质审查的生效