(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202010748608.8
(22)申请日 2020.07.29
(71)申请人 北航歌尔（潍坊）智能机器人有限公
司
地址 261000 山东省潍坊市潍坊高新区新
城街道玉清社区玉清东街以北中心次
干道以西高新大厦1006房间-02号
(72)发明人 李刘合 毛迎东 孙玉强 寇淑文
(74)专利代理机构 深圳市世纪恒程知识产权代
理事务所 44287
代理人 关向兰
(51)Int.Cl.
C23C 14/50(2006.01)
(54)发明名称
(57)摘要
本发明公开一种工件架旋转系统以及真空
镀膜设备，所述工件架旋转系统包括安装座、转
座，所述转动组件包括用以固定待镀膜工件的自
转盘，所述自转盘可沿着其自转轴可转动设置，
驱动系统驱动连接于所述转动组件，所述驱动系
统驱动所述自转盘绕着所述自转轴和/或所述公
转轴转动，以使得所述自转盘具有单独绕其自转
轴转动的自转行程、单独绕公转轴转动的公转行
程、以及同时能够绕自转轴转动和公转轴转动的
组合转动行程。本发明提供的技术方案能够实现
对工件进行自转、公转和自转与公转同时进行的
组合转动形式，以能够对工件的多个表面进行镀
膜，
以解决现有技术的缺陷。权利要求书2页 说明书8页 附图8页CN 111809160 A 2020.10.23
C N 111809160
A
1.一种工件架旋转系统，用在真空镀膜设备上，其特征在于，所述工件架旋转系统包括：
安装座；
转动组件，设于所述安装座，所述转动组件包括用以固定待镀膜工件的自转盘，所述自转盘可沿着其自转轴可转动设置，且所述自转盘还可绕着一公转轴转动设置；以及，驱动系统，驱动连接于所述转动组件，所述驱动系统驱动所述自转盘绕着所述自转轴和/或所述公转轴转动，以使得所述自转盘具有单独绕其自转轴转动的自转行程、单独绕公转轴转动的公转行程、以及同时能够绕自转轴转动和公转轴转动的组合转动行程。
2.如权利要求1所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述转动组件还包括一公转盘，所述公转盘可转动设置，所述公转盘的转轴为所述公转轴；
所述自转盘沿着其自转动轴可转动地设于所述公转盘上，且可随着所述公转盘一同公转；
所述驱动系统驱动连接于所述公转盘和所述自转盘，且可选择性地驱动所述自转盘自转和/或所述公转盘公转。
3.如权利要求2所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述驱动系统包括：
驱动装置；以及，
传动机构，传动连接在所述驱动装置与所述公转盘和所述自转盘之间，以将所述驱动装置驱动转化为所述公转盘的公转和/或所述自转盘的自转。
4.如权利要求3所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述驱动装置包括公共驱动装置；
所述传动机构包括传动动连接在所述公共驱动装置和所述公转盘之间的公转传动机构、以及传动连接在所述公共驱动装置和所述自转盘之间的自转传动机构；
其中，所述公转传动机构和所述自转传动机构均设置为可离合的传动机构，以使得所述公共驱动装置能够选择驱动所述自转盘自转和/或所述公转盘公转。
5.如权利要求3所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述驱动装置包括公转驱动装置和自转驱动装置；
所述传动机构包括传动连接在所述公转驱动装置和所述公转盘之间的公转传动机构、以及传动连接在所述自转动驱动装置和所述自转盘之间的自转传动机构。
6.如权利要求5所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述公转驱动装置和所述自转驱动装置均固定安装于所述安装座；
所述自转传动机构设置为可离合传动设置的传动机构，以使得所述公转动驱动装置通过所述公转传动机构驱动所述公转盘时，所述自转盘与所述公转驱动装置之间脱离驱动连接。
7.如权利要求6所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述公转传动机构包括固定套接在所述公转轴的公转转动部，以通过所述公转轴与所述公转盘连接，所述公转转动部与所述公转驱动装置传动连接，以被所述公转驱动装置驱动转动；
所述自转传动机构包括：
转动轴，外套接于所述公转轴，且两者之间可相对转动；
自转动传动部，固定套接在所述转动轴，且与所述自转动驱动装置传动连接，以被所述
自转驱动装置驱动转动；
大齿轮，固定套接于所述转动轴，以被所述转动轴带动转动；以及，
小齿轮，与所述大齿轮相啮合，且可通过所述自转轴与所述自转盘连接；
其中，所述小齿轮和所述大齿轮设置为可分离设置，或者所述自转动轴与所述小齿轮设置为可离合设置，以使得所述自转传动机构设置为可离合传动设置的传动机构。
8.如权利要求7所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述小齿轮套接于所述自转轴，且两者之间在周向上相互固定以传递转动，所述小齿轮在所述自转轴的轴向上可调节设置，以使得所述小齿轮能够与所述大齿轮分离和啮合。
9.如权利要求8所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述自转轴上与处在分离状态的所述小齿轮对应的分离位置、以及对应处在啮合状态的所述小齿轮的啮合位置；
所述小齿轮和所述自转轴的分离位置，其中之一设置有定位部，另一设置有配合部，通过所述定位部和所述配合部的定位配合，以使得所述小齿轮定位在所述自转轴的分离位置。
10.如权利要求9所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述定位部为卡槽，所述配合部为弹性卡凸。
11.如权利要求9所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述小齿轮与所述自转轴之间设置有复位件，所述复位件用以在所述定位部和所述配合部解除配合时，将所述小齿轮复位至所述啮合位置。
12.如权利要求9所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述安装座上还设置有能够驱动所述小齿轮在所述自转轴上的分离位置和啮合位置之间活动的调节装置。
13.如权利要求12所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述调节装置包括：
脱离装置，具有可驱动伸缩设置的抵顶件，所述抵顶件用以顶推所述小齿轮自所述自转轴的啮合位置移动至所述分离位置；以及，
复位装置，具有可驱动伸缩设置的吸附件，所述吸附件用以吸附所述小齿轮设置，以对处在所述分离位置的所述小齿轮施加作用力，使得所述定位部和所述配合部解除配合。
14.如权利要求13所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述吸附件上设置有第一磁吸部；
所述小齿轮设置有与所述第一磁吸部吸附的第二磁吸部。
15.如权利要求2所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述安装座包括固定板，所述固定板与所述公转盘相对设置，且所述固定板上设置有支撑组件，所述支撑组件的一端与所述固定板固定连接，另一端设置有与所述公转盘滚动接触的滚动件。
16.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1至15任意一项所述的工件架旋转系统。
工件架旋转系统以及真空镀膜设备
技术领域
[0001]本发明涉及真空镀膜加工技术领域，尤其是一种工件架旋转系统以及真空镀膜设备。
背景技术
[0002]现有的PVD(Physical Vapor Deposition的缩写，中文意思是“物理气相沉积”)镀膜(通常称之为真空镀膜)中需要将工件放置在真空室中进行镀膜，由于靶材固定，所以需要将工件进行旋转，现有的工件的旋转形式都采用单一的旋转方式，故而，在一次镀膜时，不能做到对工件的各个表面进行镀膜，所以现有技术对于工件的多个表面进行镀膜时，采用分多次进行镀膜，操作比较麻烦。
发明内容
[0003]本发明的主要目的是提出一种工件架旋转系统以及真空镀膜设备，旨在能够实现对工件进行自转、公转和自转与公转同时进行的组合转动形式，以能够对工件的多个表面进行镀膜，以解决现有技术的缺陷。
[0004]为实现上述目的，本发明提出一种工件架旋转系统，用在真空镀膜设备上，其特征在于，所述工件架旋转系统包括：
[0005]安装座；
[0006]转动组件，设于所述安装座，所述转动组件包括用以固定待镀膜工件的自转盘，所述自转盘可沿着其自转轴可转动设置，且所述自转盘还可绕着一公转轴转动设置；以及，[0007]驱动系统，驱动连接于所述转动组件，所述驱动系统驱动所述自转盘绕着所述自转轴和/或所述公转轴转动，以使得所述自转盘具有单独绕其自转轴转动的自转行程、单独绕公转轴转动的公转行程、以及同时能够绕自转轴转动和公转轴转动的组合转动行程。[0008]可选地，所述转动组件还包括一公转盘，所述公转盘可转动设置，所述公转盘的转轴为所述公转轴；
[0009]所述自转盘沿着其自转动轴可转动地设于所述公转盘上，且可随着所述公转盘一同公转；
[0010]所述驱动系统驱动连接于所述公转盘和所述自转盘，且可选择性地驱动所述自转盘自转和/或所述公转盘公转。
[0011]可选地，所述驱动系统包括：
[0012]驱动装置；以及，
[0013]传动机构，传动连接在所述驱动装置与所述公转盘和所述自转盘之间，以将所述驱动装置驱动转化为所述公转盘的公转和/或所述自转盘的自转。
[0014]可选地，所述驱动装置包括公共驱动装置；
[0015]所述传动机构包括传动动连接在所述公共驱动装置和所述公转盘之间的公转传动机构、以及传动连接在所述公共驱动装置和所述自转盘之间的自转传动机构；
[0016]其中，所述公转传动机构和所述自转传动机构均设置为可离合的传动机构，以使得所述公共驱动装置能够选择驱动所述自转盘自转和/或所述公转盘公转。
[0017]可选地，所述驱动装置包括公转驱动装置和自转驱动装置；
[0018]所述传动机构包括传动连接在所述公转驱动装置和所述公转盘之间的公转传动机构、以及传动连接在所述自转动驱动装置和所述自转盘之间的自转传动机构。
[0019]可选地，所述公转驱动装置和所述自转驱动装置均固定安装于所述安装座；[0020]所述自转传动机构设置为可离合传动设置的传动机构，以使得所述公转动驱动装置通过所述公转传动机构驱动所述公转盘时，所述自转盘与所述公转驱动装置之间脱离驱动连接。
[0021]可选地，所述公转传动机构包括固定套接在所述公转轴的公转转动部，以通过所述公转轴与所述公转盘连接，所述公转转动部与所述公转驱动装置传动连接，以被所述公转驱动装置驱动转动；
[0022]所述自转传动机构包括：
[0023]转动轴，外套接于所述公转轴，且两者之间可相对转动；
[0024]自转动传动部，固定套接在所述转动轴，且与所述自转动驱动装置传动连接，以被所述自转驱动装置驱动转动；
[0025]大齿轮，固定套接于所述转动轴，以被所述转动轴带动转动；以及，
[0026]小齿轮，与所述大齿轮相啮合，且可通过所述自转轴与所述自转盘连接；[0027]其中，所述小齿
轮和所述大齿轮设置为可分离设置，或者所述自转动轴与所述小齿轮设置为可离合设置，以使得所述自转传动机构设置为可离合传动设置的传动机构。[0028]可选地，所述小齿轮套接于所述自转轴，且两者之间在周向上相互固定以传递转动，所述小齿轮在所述自转轴的轴向上可调节设置，以使得所述小齿轮能够与所述大齿轮分离和啮合。
[0029]可选地，所述自转轴上与处在分离状态的所述小齿轮对应的分离位置、以及对应处在啮合状态的所述小齿轮的啮合位置；
[0030]所述小齿轮和所述自转轴的分离位置，其中之一设置有定位部，另一设置有配合部，通过所述定位部和所述配合部的定位配合，以使得所述小齿轮定位在所述自转轴的分离位置。
[0031]可选地，所述定位部为卡槽，所述配合部为弹性卡凸。
[0032]可选地，所述小齿轮与所述自转轴之间设置有复位件，所述复位件用以在所述定位部和所述配合部解除配合时，将所述小齿轮复位至所述啮合位置。
[0033]可选地，所述安装座上还设置有能够驱动所述小齿轮在所述自转轴上的分离位置和啮合位置之间活动的调节装置。
[0034]可选地，所述调节装置包括：
[0035]脱离装置，具有可驱动伸缩设置的抵顶件，所述抵顶件用以顶推所述小齿轮自所述自转轴的啮合位置移动至所述分离位置；以及，
[0036]复位装置，具有可驱动伸缩设置的吸附件，所述吸附件用以吸附所述小齿轮设置，以对处在所述分离位置的所述小齿轮施加作用力，使得所述定位部和所述配合部解除配合。
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