电子烟气流传感芯片及电子烟

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 114098171 A (43)申请公布日 2022.03.01

(21)申请号 CN202111437326.7

(22)申请日 2021.11.30

(71)申请人瑞声声学科技(深圳)有限公司

地址 518057 广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座

(72)发明人石正雨王琳琳张睿

(74)专利代理机构

代理人

(51)Int.CI

A24F40/51(20200101)

A24F40/50(20200101)

A24F40/40(20200101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

电子烟气流传感芯片及电子烟

(57)摘要

本发明涉及一种电子烟气流传感芯片，其包括具有空腔的基底以及叠设于所述基底上的电容传感结构，所述电容传感结构包括相对间隔设置的第一振膜、第二振膜以及夹设于所述第一振膜和所述第二振膜之间的背板，所述背板与所述第一振膜和所述第二振膜间隔设置以形成振动空间，所述振动空间通过所述第一振膜和所述第二振膜封闭。本发明提供的电子烟气流传感芯片，其通过第一振膜和第二振膜封闭振动空间，使得所述振动空间免于受到电子烟内部烟雾灰尘的干扰，提高了传感器的稳定性。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2022-03-01	公开	发明专利申请公布
2022-08-30	实质审查的生效IPC(主分类):A24F40/51专利申请号:2021114373267申请日:20211130	实质审查的生效