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一种透过率调整装置[发明专利]

专利名称：一种透过率调整装置

专利类型：发明专利

发明人：赵仁洁，侯宝路，湛宾洲，胡小林，吴飞申请号：CN201811582754.7

申请日：20181224

公开号：CN111352231A

公开日：

20200630

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种透过率调整装置，包括：旋转中心区域，以及围绕旋转中心区域设置的环形结构；环形结构包括透过率调整区和完全透光区；透过率调整区垂直于旋转中心区域轴向的第一侧边与完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第三侧边连接；透过率调整区垂直于旋转中心区域轴向的第二侧边与完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第四侧边连接；透过率调整区设置有阵列排布的透光孔，透过率调整区的透光面积在沿围绕旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上逐渐增大。本发明提供了一种透过率调整装置，以解决现有的机械式透过率调整装置的透过率调整上限受到限制，并且不能实现透过率的连续调整的问题。

申请人：上海微电子装备(集团)股份有限公司

地址：201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

国籍：CN

代理机构：北京品源专利代理有限公司

代理人：孟金喆

本文发布于:2024-09-20 17:48:57，感谢您对本站的认可！

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