一种单晶炉热场工装夹具[实用新型专利]

(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 202021289765.9
(22)申请日 2020.07.03
(73)专利权人 晶科能源有限公司
地址 334100 江西省上饶市经济开发区晶
科大道1号
专利权人 浙江晶科能源有限公司
(72)发明人 卢亮 张涛 金浩 肖贵云 
邓清香 
(74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限
公司 11227
代理人 孔祥贵
(51)Int.Cl.
C30B  15/00(2006.01)
(54)实用新型名称
(57)摘要
本实用新型公开了一种单晶炉热场工装夹
具,包括由两个弧形圈构成的埚邦外圈(1)、固定
于所述埚邦外圈(1)两侧的手柄(3),以及固定于
所述埚邦外圈(1)里层的埚邦内环(2),所述埚邦
内环(2)为具有设定厚度的聚四氟乙烯内环。应
用本实用新型实施例所提供的技术方案,采用耐
高温,高摩擦系数的聚四氟乙烯制作埚邦内环;
同时聚四氟乙烯硬度小于埚邦材料,操作时不会
对埚邦造成破坏,提高了单晶直拉的生产效率;
埚邦可以在刚开炉就被拆卸,使得员工在高温时
能轻易将埚邦拆卸下来,拆卸时能更好的防止员
工被烫伤,较为安全;埚邦内环摩擦系数较大,在
搬运埚邦的过程中埚邦不易脱落。权利要求书1页  说明书4页  附图2页CN 212505153 U 2021.02.09
C N  212505153
U
1.一种单晶炉热场工装夹具,其特征在于,包括由两个弧形圈构成的埚邦外圈(1)、固定于所述埚邦外圈(1)两侧的手柄(3),以及固定于所述埚邦外圈(1)里层的埚邦内环(2),所述埚邦内环(2)为具有设定厚度的聚四氟乙烯内环。
2.根据权利要求1所述的单晶炉热场工装夹具,其特征在于,所述埚邦内环(2)的内壁开设有花纹。
3.根据权利要求2所述的单晶炉热场工装夹具,其特征在于,所述花纹为菱形网状花纹。
4.根据权利要求3所述的单晶炉热场工装夹具,其特征在于,所述埚邦内环(2)的厚度为4-6mm,所述菱形网状花纹的深度1-3mm。
5.根据权利要求1所述的单晶炉热场工装夹具,其特征在于,所述手柄(3)的长度为150mm -200mm。
6.根据权利要求1所述的单晶炉热场工装夹具,其特征在于,所述埚邦内环(2)的边角处进行倒钝处理。
7.根据权利要求1所述的单晶炉热场工装夹具,其特征在于,所述埚邦内环(2)与所述埚邦外圈(1)通过粘结剂连接。
权 利 要 求 书1/1页CN 212505153 U
一种单晶炉热场工装夹具
技术领域
[0001]本实用新型涉及直拉单晶技术领域,特别是涉及一种单晶炉热场工装夹具。
背景技术
[0002]单晶炉拉晶结束之后,为了提高单晶炉的生产效率,一般在停炉6-8个小时后,要打开直拉单晶炉,对直拉单晶炉进行清理。由于热场的保温性能良好,停炉冷却一段时间后,埚邦的温度仍然在100至200℃,不借助拆卸工具,人工很难进行拆开清理作业。因此,需要带很厚的高温手套。高温手套虽然有保护人手不受高温烫伤的作用,但高温手套很厚且笨重,会影响操作人员的灵活性且有被烫伤的风险,会造成工作效率低。
[0003]伴随现有直拉单晶炉的大尺寸热场,匹配的埚邦重量也由10kg增加至30kg。并且拆炉后石英坩
埚与埚邦会粘附到一起,重量会超过50kg,只有人工穿戴高温手套拆取(黏在埚帮上的石英坩埚会因热胀冷缩产生裂痕需要一点一点剥下来),很容易出现因为埚邦掉落导致人员烫伤的安全事故,且耗时长,不利于提高人员操作的安全性。
[0004]如图1所示,图1为现有技术中一种典型的单晶炉热场工装夹具的示意图。埚邦夹具由不锈钢加工而成,两人握住夹具的两个夹头手柄3,同时用力夹紧夹具,就可以将高温埚邦及埚邦里面的石英坩埚夹起。
[0005]但是,现有的埚邦夹具材质为不锈钢,内壁光滑,与埚邦的摩擦系数很低,约为0.10,在抬埚邦时,需要给予夹头很大的压力,才能抬起埚邦,这样就容易刮伤锅邦,而且在搬运的过程中随时有埚邦脱落的危险;并且现有埚邦手柄3太短,在高温时抬埚邦,手臂容易碰到埚邦造成烫伤。
[0006]综上所述,如何有效地解决埚邦在拆卸时易烫伤操作人员,单晶直拉的生产效率较低等问题,是目前本领域技术人员急需解决的问题。
实用新型内容
[0007]本实用新型的目的是提供一种单晶炉热场工装夹具,该单晶炉热场工装夹具使埚邦在拆卸时能更好的防止员工被烫伤,增加了单晶直拉的生产效率。
[0008]为解决上述技术问题,本实用新型提供如下技术方案:
[0009]一种单晶炉热场工装夹具,包括由两个弧形圈构成的埚邦外圈、固定于所述埚邦外圈两侧的手柄,以及固定于所述埚邦外圈里层的埚邦内环,所述埚邦内环为具有设定厚度的聚四氟乙烯内环。
[0010]优选地,所述埚邦内环的内壁开设有花纹。
[0011]优选地,所述花纹为菱形网状花纹。
[0012]优选地,所述埚邦内环的厚度为4-6mm,所述菱形网状花纹的深度1-3mm。[0013]优选地,所述手柄的长度为150mm-200mm。
[0014]优选地,所述埚邦内环的边角处进行倒钝处理。
[0015]优选地,所述埚邦内环与所述埚邦外圈通过粘结剂连接。
[0016]本实用新型所提供的单晶炉热场工装夹具,包括埚邦外圈、手柄以及埚邦内环,埚邦外圈由不锈钢加工而成,埚邦外圈由两个弧形圈构成,两个弧形圈的一侧通过转轴连接,两个弧形圈可以绕转轴转动,两个弧形圈的另一侧没有连接,能够打开两个弧形圈,易于单晶炉热场工装夹具夹住坩埚。
[0017]手柄固定于埚邦外圈的两侧,两人握住两个夹头手柄,同时用力夹紧夹具,就可以将高温埚邦及埚邦里面的石英坩埚夹起,加快清炉的速度,从而提高生产效率。
[0018]埚邦内环固定于埚邦外圈的里层,也就是说埚邦外圈相当于现有埚邦夹具,将埚邦内环装在现有埚邦夹具里层。埚邦内环为具有设定厚度的聚四氟乙烯内环,聚四氟乙烯使用温度最高可以达到250℃,不会出现抬埚邦时内环损坏的情况。聚四氟乙烯材质硬度小于埚邦,减少夹具对埚邦造成剐蹭。
[0019]应用本实用新型实施例所提供的技术方案,采用耐高温,高摩擦系数的聚四氟乙烯制作埚邦内环;同时聚四氟乙烯硬度小于埚邦材料,操作时不会对埚邦造成破坏,提高了单晶直拉的生产效率;埚邦可以在刚开炉就被拆卸,使得员工在高温时能轻易将埚邦拆卸下来,拆卸时能更好的防止员工被烫伤,较为安全。埚邦内环摩擦系数较大,在搬运埚邦的过程中埚邦不易脱落。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为现有技术中一种典型的单晶炉热场工装夹具的示意图;
[0022]图2为本实用新型中一种具体实施方式所提供的单晶炉热场工装夹具的结构示意图;
[0023]图3为图2中埚邦内环的结构示意图。
[0024]附图中标记如下:
[0025]1-埚邦外圈、2-埚邦内环、3-手柄。
具体实施方式
[0026]本实用新型的核心是提供一种单晶炉热场工装夹具,该单晶炉热场工装夹具使埚邦在拆卸时能更好的防止员工被烫伤,增加了单晶直拉的生产效率。
[0027]下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0028]请参考图2和图3,图2为本实用新型中一种具体实施方式所提供的单晶炉热场工装夹具的结构示意图;图3为图2中埚邦内环的结构示意图。
[0029]在一种具体实施方式中,本实用新型所提供的单晶炉热场工装夹具,包括由两个弧形圈构成的埚邦外圈1、固定于埚邦外圈1两侧的手柄3,以及固定于埚邦外圈1里层的埚
邦内环2,埚邦内环2为具有设定厚度的聚四氟乙烯内环。
[0030]上述结构中,单晶炉热场工装夹具包括埚邦外圈1、手柄3以及埚邦内环2,埚邦外圈1由不锈钢加工而成,埚邦外圈1由两个弧形圈构成,两个弧形圈的一侧通过转轴连接,两个弧形圈可以绕转轴转动,两个弧形圈的另一侧没有连接,能够打开两个弧形圈,易于单晶炉热场工装夹具夹住坩埚。
[0031]手柄3固定于埚邦外圈1的两侧,两人握住两个夹头手柄3,同时用力夹紧夹具,就可以将高温埚邦及埚邦里面的石英坩埚夹起,加快清炉的速度,从而提高生产效率。[0032]埚邦内环2固定于埚邦外圈1的里层,也就是说埚邦外圈1相当于现有埚邦夹具,将埚邦内环2装在现有埚邦夹具里层。埚邦内环2为具有设定厚度的聚四氟乙烯内环,聚四氟乙烯使用温度最高可以达到250℃,不会出现抬埚邦时内环损坏的情况。聚四氟乙烯材质硬度小于埚邦,减少夹具对埚邦造成剐蹭。
[0033]应用本实用新型实施例所提供的技术方案,采用耐高温,高摩擦系数的聚四氟乙烯制作埚邦内
环2;同时聚四氟乙烯硬度小于埚邦材料,操作时不会对埚邦造成破坏,提高了单晶直拉的生产效率;埚邦可以在刚开炉就被拆卸,使得员工在高温时能轻易将埚邦拆卸下来,拆卸时能更好的防止员工被烫伤,较为安全。埚邦内环2摩擦系数较大,在搬运埚邦的过程中埚邦不易脱落。
[0034]在上述具体实施方式的基础上,本领域技术人员可以根据具体场合的不同,对单晶炉热场工装夹具进行若干改变,埚邦内环2的内壁开设有花纹,进一步增加埚邦夹具的摩擦系数,可以将埚邦夹具与埚邦的摩擦系数由原先的0.10提升至0.45左右,可以轻松抬起埚邦,避免埚邦脱落造成损失。
[0035]进一步优化上述技术方案,本领域的技术人员可以根据具体场合的不同对上述具体实施方式进行若干改变,花纹可以为菱形网状花纹,菱形网状花纹结构简单,棱角分明,与埚邦接触不易滚动、移位,进一步加大了埚邦内环2与埚邦的摩擦力,可以防止埚邦脱落。当然,花纹为菱形网状花纹只是一种优选的实施方式,并不是唯一的,花纹还可以为其它适宜的形状,比如梯形、五边形,都在本实用新型的保护范围内。
[0036]进一步优化上述技术方案,埚邦内环2的厚度为4-6mm,之间任意值,包括端点值,比如为5mm,埚邦内环2的厚度适中,既能够夹紧埚邦,又可以不磨损埚邦。菱形网状花纹的深度1-3mm之间任意值,包括端点值,比如为2mm,菱形网状花纹的深度适中,不仅能够满足埚邦内环2的强度要求,还可以保证埚邦内环2与埚邦的摩擦系数,抬起埚邦时避免埚邦脱落。
[0037]另一种较为可靠的实施例中,在上述任意一个实施例的基础之上,手柄3的长度为150mm-200mm之间任意值,包括端点值,比如为180mm,由现有技术手柄3的长度100mm延长至150mm以上,手柄3的长度加长,防止操作人员烫伤。
[0038]优选地,在手柄3的外层套装防脱落胶皮套,隔热性较好,不易躺上去操作人员直接;并且,防脱落胶皮套摩擦力较大,操作人员手握防脱落胶皮套不易手滑,较为安全。[0039]本实用新型所提供的单晶炉热场工装夹具,在其它部件不改变的情况下,埚邦内环2的边角处进行倒钝处理,避免夹具对埚邦造成剐蹭。
[0040]对于上述各个实施例中的单晶炉热场工装夹具,埚邦内环2与埚邦外圈1可以通过粘结剂连接,连接紧密,较为牢固,没有连接部件,不会磨损埚邦。埚邦内环2与埚邦外圈1还

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