集成电路设计基础 2010-11年第第一学期试题苏俄拳王
1、填空题（20分）
文化氛围1、目前，国内已引进了12英寸0.09um芯片生产线，由此工艺线生产出来的集成电路特征尺寸是0.009um （大小），指的是右图中的 W （字母）。 2、CMOS工艺可分为 p阱、 n阱、双阱三种。
在CMOS工艺中，N阱里形成的晶体管是 p （PMOS，
NMOS）。
3、通常情况下，在IC 中各晶体管之间是由场氧来隔离的；
该区域的形成用到的制造工艺是氧化工艺。
4.集成电路制造过程中，把掩膜上的图形转换成晶圆上器件结构一道
工序是指光刻，包括晶圆涂光刻胶、曝光、显影、烘干四 个步骤；
其中曝光方式包括①接触式、② 非接触式两种。
5、阈值电压V T是指将栅极下面的si表面从P型Si变成N型Si所必要的
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电压，根据阈值电压的不同，常把MOS期间分成耗尽型、增强型
两种。降低V T的措施包括：降低杂质浓度、增大Cox 两种。
二、名词解释（每词4分，共20分）
①多项目晶圆（MPW）
②摩尔定律
③掩膜
④光刻
⑤外延
三、说明（每题5分共10分）
① 说明版图与电路图的关系。
四、简答与分析题（10分）
1、数字集成电路设计划分为三个综合阶段，高级综合，逻辑综合，物理综合；解释这三个综合阶段的任务是什么？ 2、分析MOSFET尺寸能够缩小的原因。
五、综合题（共4小题，40分）
1、 在版图的几何设计规则中，主要包括各层的最小宽度、层与层
之间的最小间距、各层之间的最小交叠。把下图中描述的与多
晶硅层描述的有关规则进行分类：
（1）属于最小宽度是：
（2）属于层与层之间的最小间距的是: （3）属于各层之间的最小交叠是：
图1
阈值电压2．请提取出下图所代表的电路原理图。画出用MOSFET构成的电路。
图2 图3 图 4
蓝刀锋
3、图4是一个标准的CMOS反相器电路，V TN和V TP分别为NMOS、PMOS
BLK222
晶体管的阈值电压，讨论PMOS和NMOS晶体管导通和截至的条
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