扫描电子显微镜的改进及其应用作者：董延龙来源：《现代农业科技》2009年第07期 摘要 概括了扫描电子显微镜的成像原理、分类以及应用，以期为人们对扫描电子显微镜的使用提供指导。 关键词 扫描电子显微镜；原理；应用
中图分类号 TN16 文献标识码 A 文章编号 1007-5739（2009手机回收系统）07-0301-02
电子显微镜（简称电镜，EM）是现代科学研究中不可缺少的重要工具。电子显微镜主要有透射电子显微镜（简称透射电镜，TEM）和扫描电子显微镜（简称扫描电镜，SEM）两大类。扫描透射电子显微镜（简称扫描透射电镜，STEM）兼有两者的性能。为了进一步表征仪器的特点，有以加速电压区分的，如：超高压（1mV）和中等电压（200～唐成良>dxs500kV）透射电镜、低电压（
1 扫描电镜原理
南寒水石
扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒，成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子发射的能量为5～35keV的电子，以其交叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射（以及其他物理信号），二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集转换成电信号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。
2 摇滚年现代扫描电镜的发展
现代扫描电镜的发展主要是在二次电子像分辨率上取得了较大的进展，主要包括以下几类。
还俗方丈（1）低电压扫描电镜。在扫描电镜中，低电压是指电子束流加速电压在1kV左右。此时，对未经导电处理的非导体试样其充电效应可以减小，电子对试样的辐照损伤小，且二次电子的信息产额高，成像信息对表面状态更加敏感，边缘效应更加显著，能够适应半导体和非导体分析工作的需要。但随着加速电压的降低，物镜的球像差效应增加，使得图像的分辨率不能达到很高，这就是低电压工作模式的局限性。
豫公网安备41160202000603
站长QQ:729038198
关于我们
投诉建议