镜面间隔[1]是光学系统的重要指标之一，其精度直接影响光电产品的视场大小、成像质量等重要性能参数。传统接触式测量方法使用测高仪可以测量直线光学镜头各镜组之间的镜面间隔，而对于包含折转光路的光学系统镜面间隔，该测量方法不再适用。 门外有敲门声
镜面定位仪是一种非接触式测量设备，采用激光短相干原理实现光学元件中心厚、镜头组镜面间隔以及折转光路光学系统镜面间隔测量。本文使用的镜面定位仪是德国TRIOPTICS 公司生产的精密光学测量设备，其测量激光波长为1310nm ，即该设备可测试能透过1310nm 激光的光学系统空气间隔，对于不透1310nm 激光的光学系统则无法测量。1 镜面定位仪测量原理
钱超尘镜面定位仪采用短相干光源的干涉原理进行非接触测量，单性较好的两束相干光源发生干涉时产生相干现象，再利用高精度的光栅尺测量出参考反射镜移动的距离，根据算法计算出间隔，测量精度很高，可以达到微米级。2 测量方案2.1 测量原理
某包含折转光路的红外光学系统如图1所示，该光学系统由物镜1、物镜2、反射镜等组成。物镜1、物镜2的镜面间隔无法使用测高仪测量，物镜1、物镜 2材料为锗，无法透射波长为1310nm 的激光，即使用镜面定位仪无法测量出物镜1与物镜2的空气间隔。
图1 某包含折转光路的红外光学系统
本测量方案设计了一组材料为K9玻璃的测量工装1和
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测量工装2，K9玻璃可透射波长为1310nm 的激光。将测量工装1、2装入光学系统中，替代原光学系统中的物镜1和物镜2，如图2所示。利用镜面定位仪对折转光路中测量工装间各玻璃表面的间隔进行测量，再结合各测量工装玻璃的厚度，即可计算出支架部件上各透镜安装面之间的实际距离。
其次，利用测高仪测出物镜1、物镜2的顶点到端面距离d 1、
d 2，如图3
所示。结合光学系统空气间隔要求和支架部件上各透镜安装面之间的距离数据，即可计算出物镜1和物镜2的空气间隔。
图2 测量原理示意图稻绿蝽
图 3 物镜测量示意图
2.2 技术难点及改进措施
乳品论坛由于K9玻璃对1310nm 确测量出测量工装1与测量工装2算公式即可得出物镜1与物镜2摘 要：镜面定位仪是一种非接触测量设备，可以测量光学系统中各镜组的镜面间隔，尤其是带有折转光路的光学系统空气间隔。然而镜面定位仪有特定的测量波段，对于不在该测量波段的光学系统无法测试。提出了一种基于镜面定位仪的多波段折转光路光学系统空气间隔的测量方法，测量结果准确、精度高。
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关键词：折转光路 镜面间隔 非接触测量
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