目前450型DSS 炉使用大坩埚（外尺寸880*880*420 mm 3）型坩埚）装料，在配比时如硅料搭配合理，装料重量可达到420 Kg 以上。如果增加装料重量至450 Kg 以上，需加大坩埚尺寸。 一、现有装料方式简介
现有坩埚装料重量为420 Kg/埚，受硅料尺寸影响，装料可能低于420Kg/埚。 1.现有装料容器及硅料介绍
装料用880型石英坩埚 转运用白方塑料桶 内尺寸840*840*400 mm 3 内尺寸530*420*330mm 3
400
840
840
风险投资交易
330
420
水合肼530
粗略计算：如使用上述方桶度量硅料装填坩埚，则要3.8桶硅料装平坩埚，加一锥型尖顶（最高处可至离坩埚上沿80mm），则可装料0.2桶，因此填装1个880型坩埚可装4桶硅料； 装满一桶硅料，由于硅料形状不同，可装入的重量不同，常见硅料如下图和表所示：
纯硅棒、单晶棒 纯料硅块 头尾料、边料
多晶硅块 颗粒料
多晶碎片
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表一 硅料装填密度
硅料种类 装填重量（Kg /桶）装填密度(Kg/dm3）100%装填重量Kg/埚纯硅棒、单晶棒 80～90 1.08～1.21 320～360 纯料硅块 75～85 1.01～1.15 300～340
头尾料、边料 90～100 1.21～1.34 360～400 颗粒料 95～105 1.28～1.42 380～420
多晶硅块110～120 1.48～1.62 440～480
多晶碎片 40-60 0.54～0.81 160～240
2. 装料步骤简介
坩埚装填硅料时，由于不同形状的硅料装填密度不同，需要注意硅料搭配装填：
2.1一般先以表面平整的头尾料或边料铺底，装入约10KG碎片或圆颗粒料铺平；
2.2在坩埚四周侧壁用头尾料或边料护边，然后在坩埚底部中间装入整块硅块（左
图）或硅棒（右图），距坩埚侧壁间隙≥5CM，大块料之间间距≥2CM，在间隙
和边角填装块状硅料；
2.3 如果有颗粒料，需用碎片或较小的块状硅料包围四周做出凹坑，中间装填颗粒
料。
2.4颗粒料重量多于30Kg（须≤60Kg/埚）时，重复第3
步骤；
2.5用纯硅块或头尾料盖面，注意装填硅料高度不得超出坩埚上沿
8CM，
7
.
5
C
M 如果超过
8CM，则硅料会接触顶着石墨盖板（如下图所示）；
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坩埚盖板
8
石墨护板
坩埚
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表二 大坩埚硅料装填比率
硅料种类 装填重量（Kg /埚） 装填比率（%） 纯硅棒/单晶棒/硅块 100～120 25%～30% 头尾料或边料 80～100 20%～25%
大婚告急下载碎片 10～20 2.5%～5% 其他硅料（块状硅料/颗粒料等）170～250 40%～60%
配比一埚420 Kg 硅料时，各种形状硅料按装填比率（见表二）搭配，可以装填到420 Kg/埚，如果碎
片较多或较小块状硅料多于300KG时，可能会使装坩埚填硅料重量小于420 Kg/埚。
二 提高装料重量
在现有热场和DSS中，如增880型坩埚装料重量到450KG/埚，需将坩埚的高度增到460mm以上.经过测算，目前大坩埚填装硅料密度为1.33 Kg/dm3，如果坩埚长度和宽度不变，则将坩埚高度增加到460-500mm，按表三配比硅料，可装填450KG硅料，同时需要进一步试验以验证其可行性。
表三 450Kg/埚装填硅料配比
硅料种类 装填重量（Kg /埚） 装填比率（%） 纯硅棒/单晶棒/硅块 115～135 25%～30% 头尾料或边料 90～115 20%～25%
碎片 12～25 2.5%～5% 其他硅料（块状硅料/颗粒料等）180～280 40%～60%
三 京运通500KG硅锭实验及初步分析
在国产京运通铸锭炉中试用3只480mm高度坩埚（1只为华融坩埚，2只为赛瑞丹坩埚）铸锭，已全部出锭，其中一只赛瑞丹坩埚装料重量仅为478kg（硅料搭配不合理所致），其他坩埚装料重量为500Kg，另一只赛瑞丹坩埚出锭后发现硅锭固液线以上有粘埚崩边现象，对硅锭合格率有一定影响。
初步分析可能硅料持续高温时间较长，固液线位置涂层受高温硅液冲刷时间较长所致，后续将继续调整相关铸锭工艺，以期铸造质量更好硅锭。
技术部铸锭技术科
2010/2/21
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